Manz發(fā)布業(yè)界產(chǎn)出量最快的濕制程設備 加快cSi生產(chǎn)制程整合

　　高科技產(chǎn)業(yè)整合解決方案供應商Manz將參展SNEC 2012第六屆國際太陽能產(chǎn)業(yè)及光伏工程(上海)展覽會暨論壇 (展位：E3館，310)，屆時將展示其最新的晶體硅太陽能電池濕制程設備：IPSG CEI 4800。該設備主要用于去除晶片背部及邊緣的高摻雜層，進而產(chǎn)生化學邊緣隔離(CEI)，還能去除之前擴散過程中在晶片正面生成的磷硅玻璃(PSG)。Manz創(chuàng)始人兼首席執(zhí)行官Dieter Manz先生說：“憑借新式的濕制程設備，我們真正填補了Manz先前在光伏制程工藝中缺失的環(huán)節(jié)。”其最新研發(fā)的海綿滾輪工藝實現(xiàn)了更快的直進式輸送，不僅能平穩(wěn)地傳送硅片，同時還能確保更高的制程穩(wěn)定性。

　　正如IPSG CEI 4800的名稱所示，其產(chǎn)出量每小時最高可達4800 片。該設備將會與用于裝/卸載硅片的Manz SpeedPicker進行捆綁銷售。Manz還將在今年9月份相繼推出新式真空鍍膜設備和制絨設備，致力成為全制程設備的供應商。

　　在5月15日，SNEC 2012開幕的前一天，Manz位于蘇州的新工廠將正式開業(yè)，IPSG CEI 4800也將在該工廠正式投產(chǎn)。憑借公司20年來在濕制程領域積累的豐富經(jīng)驗，Manz將以更有效率的服務為重點客戶提供兼具當?shù)貎r格與德國品質(zhì)的高性價比產(chǎn)品。