ASML提升新EUV機臺技術(shù)生產(chǎn)效率
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微影設(shè)備大廠ASML積極提升極紫外線(EUV)機臺技術(shù)的生產(chǎn)效率，在2012年購并光源供應(yīng)商Cymer后，大幅提升光源效率，從2009年至今光源效率分別為2009年2瓦、2010年5瓦、2011年10瓦，2012年提升至20瓦，目前已達55瓦，每小時晶圓產(chǎn)出片數(shù)為43片，預(yù)計2013年底前，可達到80瓦的目標(biāo)，2015年達250瓦、每小時產(chǎn)出125片。
本文引用地址：http://www.butianyuan.cn/article/169861.htm半導(dǎo)體生產(chǎn)進入10納米后，雖然可采用多重浸潤式曝光方式，但在一片晶圓上要進行多次的微影制程曝光，將導(dǎo)致生產(chǎn)流程拉長，成本會大幅墊高，半導(dǎo)體大廠為避免摩爾定律面臨極限挑戰(zhàn)，因此積極投入EUV機臺技術(shù)開發(fā)，延續(xù)半導(dǎo)體制程微縮、大幅降低成本的步伐。
2012年ASML發(fā)起的「客戶聯(lián)合投資專案」(Customer Co-Investment Program)，獲得全球三大半導(dǎo)體客戶臺積電、英特爾(Intel)和三星電子(Samsung Electronics)投資，共同開發(fā)EUV機臺技術(shù)和18寸晶圓的微影設(shè)備。
ASML認(rèn)為EUV瓶頸是在光源上，因此2012年也購并光源供應(yīng)商Cymer，積極提升光源效率，讓EUV機臺可應(yīng)用在實際量產(chǎn)上。
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