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電子制造進入低成本高品質時代 潔凈技術亟待優(yōu)化

作者: 時間:2009-10-16 來源:中國電子報 收藏

  《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》的條文說明顯示,電子工業(yè)用高純氣體種類很多,高純常用氣體和特種氣體達數(shù)十種。根據電子產品生產工藝要求和氣源的品質,潔凈廠房內常常設有不同類型的氣體純化裝置,如電子產品生產工藝要求氣體中雜質含量達到10-9時,即使管道供應或外購氣瓶的氣體純度達99.99%或99.999%,也需要采用金屬吸氣劑法、低溫吸附法或鈀膜擴散法等氣體純化方法對氣體進行提純。

本文引用地址:http://butianyuan.cn/article/98982.htm

  新國標滿足設計新要求

  隨著工藝技術的提升,集成電路對生產環(huán)境潔凈度的要求也越來越高。特征尺寸為45納米的極大規(guī)模集成電路已于兩年前投入商用。根據摩爾定律,32納米產品將在今年投入商用。日前,英特爾還向業(yè)界展示了22納米產品?!峨娮庸I(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》主編、中國電子工程設計院前副總工程師陳霖新在接受《中國電子報》記者采訪時表示,45納米的極大規(guī)模集成電路的生產要求潔凈室的空氣潔凈度為ISO1級或ISO2級,微粒粒徑為30納米。

  集成電路和潔凈廠房的體積也不斷增大。陳霖新表示,以微電子產品生產為代表的大面積、大空間、大體積的潔凈廠房相繼建成,并日漸增多。一個8英寸集成電路芯片生產用的潔凈廠房,其潔凈生產區(qū)面積可達數(shù)千平方米到1萬平方米,廠房高度20米左右;第6代生產用潔凈廠房的潔凈生產區(qū)面積達3萬多平方米,廠房高度接近30米,其中僅潔凈室(區(qū))及其貫通的上下技術夾層的高度就可達15米~18米,而且8代線,潔凈廠房面積已接近9萬平方米。

  針對這些變化,在今年7月1日正式實施的《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》(GB50472)在涉及化學分子污染物的控制,以及潔凈建筑防火與疏散等方面做出了新的規(guī)定。


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