國產(chǎn)光刻機第一股！華卓精科科創(chuàng)板過會，與清華共享專利

作者 |  高歌
編輯 |  Panken
9月17日，北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“華卓精科“）于科創(chuàng)板成功過會。華卓精科主營業(yè)務(wù)為超精密測控設(shè)備，產(chǎn)品包括精密運動系統(tǒng)、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤、晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等，主要應(yīng)用于集成電路制造、超精密制造、光學(xué)、醫(yī)療等行業(yè)。光刻機工件臺是光刻機的3大核心部件之一，華卓精科是國內(nèi)首家自主研發(fā)并實現(xiàn)光刻機雙工件臺商業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)，也是國內(nèi)光刻機龍頭上海微電子的供應(yīng)商。目前，華卓精科的DWS系列雙工件臺可用于65nm及以上節(jié)點的I-line、KrF和ArF干式光刻機，但尚未通過上海微電子的驗收。今年7月29日，華卓精科的上市委會議結(jié)果為暫緩審議，上市委現(xiàn)場詢問了有關(guān)其光刻機雙工件臺的產(chǎn)業(yè)化前景、其技術(shù)研發(fā)是否依賴清華大學(xué)、以及2019年和2020年第四季度的大額銷售收入等事項。報告期內(nèi)，華卓精科營收呈遞增趨勢，2018年、2019年、2020年其營收分別為8570萬元、1.21億元和1.52億元。本輪IPO，華卓精科計劃募資7.35億元，將用于半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造、超精密測控產(chǎn)品長三角創(chuàng)新與研發(fā)中心、集成電路裝備與零部件產(chǎn)品創(chuàng)新項目、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術(shù)研發(fā)4個項目。

華卓精科的董事、核心技術(shù)人員、首席科學(xué)家朱煜為公司的控股股東和實際控制人，其實際控制股份比例為54.23%。上會稿顯示，朱煜為清華大學(xué)長聘教授，華卓精科的一眾高管也都有清華背景。

營收持續(xù)增長超精密測控裝備為主要收入來源

根據(jù)上會稿，華卓精科在報告期內(nèi)營收持續(xù)增長，且增速較快。華卓精科2018年-2020年各期營收分別為8570.92萬元、1.21億元和1.52億元。其2019年營收增幅達41.14%，2020年營收增幅則為25.94%。凈利潤方面，華卓精科2018年、2019年、2020年凈利分別為1512.36萬元、2087.24萬元和1242.83萬元。上會稿稱，華卓精科其營收增速較快主要是因為下游終端市場需求旺盛以及半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代趨勢的影響。2020年，華卓精科凈利潤下降較多，則由于其管理費用、貸款利息、計提預(yù)計信用損失大幅增加。

具體來說，華卓精科的營收組成可分為超精密測控裝備部件、超精密測控裝備整機與其他3類。其中，超精密測控裝備部件主要為精密運動系統(tǒng)及技術(shù)開發(fā)、光刻機雙工件臺模塊及技術(shù)開發(fā)、經(jīng)典卡盤及技術(shù)開發(fā)和隔振器4類；超精密測控裝備整機則可以分為晶圓級鍵合設(shè)備及技術(shù)開發(fā)與激光退火設(shè)備。華卓精科的主要收入來源為精密運動系統(tǒng)及技術(shù)開發(fā)，在報告期內(nèi)其業(yè)務(wù)營收組成比例波動較大。2020年光刻機雙工件臺收入占其總營收的11.42%，在2019年該項收入則為0。上會稿稱，光刻機雙工件臺技術(shù)開發(fā)難度較大。2019年，上海微電子作為國內(nèi)唯一的光刻機整機廠商未完成對合同內(nèi)容驗收，因此華卓精科該業(yè)務(wù)收入為0。

從客戶情況來說，華卓精科主要客戶為半導(dǎo)體等領(lǐng)域的企業(yè)，高?？蛻羰杖胝急容^低。中科飛測、上海微電子在報告期內(nèi)一直為華卓精科的前五大客戶。2018年-2020年，華卓精科向前五大客戶的銷售收入占主營業(yè)務(wù)收入比例分別為50.23%、53.57%及58.03%。雖然前五大客戶的銷售占比不高，但上海微電子是國內(nèi)唯一的光刻機整機廠商，所以一定程度上華卓精科光刻機雙工件臺的商業(yè)化前景取決于上海微電子的光刻機整機銷售情況。

在原材料采購方面，華卓精科所需原材料主要可分為基礎(chǔ)材料、電氣類、機械類和光學(xué)類。2020年，華卓精科對機械類和電氣類原材料采購金額較高，占比合計達76.39%。2018年-2020年華卓精科向前五大供應(yīng)商合計采購金額占比分別為37.69%、29.41%及20.63%，呈下降趨勢。翟柯萊姆達、Zygo Corporation和山東鑫磊精密機械有限公司在2019年和2020年是華卓精科的前五大供應(yīng)商。

產(chǎn)品填補多項國產(chǎn)空白光刻機雙工件臺存在制程差距

對光刻機市場來說，主要廠商有荷蘭ASML和日本尼康、佳能和中國上海微電子4家。尼康和佳能主要采用“In House”生產(chǎn)模式，即光刻機的主要子系統(tǒng)均由整機廠研發(fā)和生產(chǎn)。ASML早期采用“Out House”生產(chǎn)模式，即僅負(fù)責(zé)整機的設(shè)計和子系統(tǒng)的需求定義，子系統(tǒng)由第三方廠商進行生產(chǎn)。2010年后，ASML也開始自行設(shè)計工件臺。上會稿指出，無論上述整機廠商采取何種研發(fā)、生產(chǎn)模式，其工件臺均不單獨對外銷售。這也意味著華卓精科對于光刻機的國產(chǎn)化替代較為重要。和ASML所使用的光刻機雙工件臺對比，華卓精科的DWS系列產(chǎn)品和ASML的干式深紫外（DUV）光刻機雙工件臺處于同一架構(gòu)，但性能有所落后；華卓精科的浸沒式DWSi系列產(chǎn)品尚未完成研發(fā)；在極紫外（EUV）領(lǐng)域，華卓精科并未推出產(chǎn)品。截至最新的上會稿簽署，華卓精科DWS系列光刻機雙工件臺累計發(fā)貨4臺，仍處于與上海微電子光刻機整機集成、測試階段，尚未通過上海微電子的最終驗收。

此外，在精密運動系統(tǒng)、晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備、靜電卡盤等不同的市場，華卓精科還需要面對不同的國內(nèi)外競爭對手。這些對手既有Aerotech、應(yīng)用材料、泛林半導(dǎo)體、東京電子、住友重工等國外巨頭，也有中微公司、長川科技、北方華創(chuàng)等國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商。相對來說，華卓精科存在融資渠道單一、品牌知名度較低、客戶資源較為劣勢等差距。此外，華卓精科的晶圓級鍵合設(shè)備、激光退火設(shè)備等仍處于小批量定制生產(chǎn)階段，未實現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)，其光刻機雙工件臺也尚未通過下游客戶驗收。在產(chǎn)線豐富度和產(chǎn)品性能上，華卓精科同樣和行業(yè)龍頭存在差距。

盡管華卓精科的產(chǎn)品和行業(yè)龍頭相比存在不少差距，但是由于該公司較為豐富的技術(shù)積累，其產(chǎn)品填補了多項國內(nèi)空白，促進了半導(dǎo)體制造設(shè)備和核心部件的國產(chǎn)替代進程。截至2021年6月30日，華卓精科共擁有198項專利以及1項專利獨占權(quán)，其中包括發(fā)明專利148項、實用新型43項、外觀設(shè)計2項、美國專利5項。因為朱煜是清華大學(xué)的長聘教授，華卓精科與清華大學(xué)存在較為密切的技術(shù)交流、合作。上會稿寫道，華卓精科承接了清華大學(xué)原發(fā)技術(shù)積累，并在報告期內(nèi)委托清華大學(xué)進行了65nm雙工件臺關(guān)鍵技術(shù)測試開發(fā)項目。華卓精科與清華大學(xué)作為共同專利權(quán)人擁有的專利共計162項，其中協(xié)議轉(zhuǎn)讓方式獲取的專利115項、委托開發(fā)方式獲取的專利30項、合作研發(fā)方式獲取的專利17項，清華大學(xué)授權(quán)華卓精科獨占實施許可的專利1項。

研發(fā)團隊占比超30%2名核心技術(shù)人員系清華兼職

華卓精科研發(fā)人員共有133人，占員工總數(shù)比例為33.08%。核心技術(shù)人員共有7人，分別為朱煜、張鳴、楊鵬遠(yuǎn)、陳靜、張利、張豹和劉效巖，其中朱煜和張鳴為華卓精科原有核心技術(shù)人員。朱煜2001年于中國礦業(yè)大學(xué)獲機械設(shè)計及理論專業(yè)博士學(xué)位。畢業(yè)后，朱煜曾先后于中國礦業(yè)大學(xué)和清華大學(xué)從事教學(xué)和博士后工作。2004年10月至今，朱煜為清華大學(xué)教授，也是科技部重點領(lǐng)域創(chuàng)新團隊負(fù)責(zé)人及國家02科技重大專項技術(shù)副總師。此外，朱煜在全球擁有授權(quán)專利227項，其中發(fā)明專利173項；他還發(fā)表了200余篇論文，出版專著2本。2007年和2016年，朱煜曾在北京七星華創(chuàng)電子和北方華創(chuàng)任獨立董事；2012年5月至2015年7月，他任華卓有限董事長兼總經(jīng)理；2015年8月至2015年9月，朱煜為華卓精科董事長；2015年9月至今，他擔(dān)任華卓精科董事、首席科學(xué)家。值得一提的是，朱煜也是國產(chǎn)CMP廠商華海清科的股東，擁有華海清科4.98%的股份。

張明2005年于清華大學(xué)獲機械工程專業(yè)博士學(xué)位。1999年3月至2000年7月，他在中國運載火箭技術(shù)研究院任助理工程師；2005年7月，張鳴在清華大學(xué)任博士后、助理研究員、副研究員等職。2017年8月，張鳴任華卓精科技術(shù)顧問；2018年2月起，他開始擔(dān)任華卓精科董事。張鳴曾參與過國家重大專項、973計劃、863計劃等6項國家級項目，發(fā)表論文66篇，其中SCI期刊收錄17篇。目前，張鳴擁有國家授權(quán)專利164項，其中發(fā)明專利147項。當(dāng)前朱煜、張鳴已取得清華大學(xué)兼職批復(fù)，作為兼職人員在華卓精科任職。兩人也承諾，如果華卓精科順利上市，其將繼續(xù)向清華大學(xué)辦理兼職批復(fù)，繼續(xù)從事兼職工作；如果未能取得清華大學(xué)同意兼職的批復(fù)，則將從清華大學(xué)辦理離職手續(xù)并全職在華卓精科工作。

朱煜實際控股比例過半

根據(jù)上會稿，朱煜直接持有華卓精科35.72%的股份，他還通過艾西科技和艾西博銳持有5.45%的股份。而華卓精科的徐登峰、張鳴、楊開明、尹文生、胡金春、穆海華、成榮7名股東合計持有13.06%的公司股份，并于與朱煜保持一致行動關(guān)系。所以朱煜實際控制的股份比例為54.23%，是華卓精科的實際控制人和控股股東。此外，持有華卓精科股份比例超過5%的股東還有水木愿景和水木長風(fēng)兩家公司，持股比例分別為8.75%和6.78%。華卓精科董事長吳勇為水木愿景、水木長風(fēng)和吳勇本人推薦擔(dān)任。

結(jié)語：產(chǎn)學(xué)合作填補空白需要面對多領(lǐng)域巨頭競爭

與此前過會的華海清科類似，華卓精科也是依托于清華大學(xué)的技術(shù)積累，并通過“產(chǎn)學(xué)研用”模式，將學(xué)術(shù)成果轉(zhuǎn)化為商用化產(chǎn)品，填補了我國光刻機工件臺這一半導(dǎo)體核心部件的空白。因此，華卓精科如果能夠上市成功，對我國光刻機的國產(chǎn)替代有著積極意義。但同時，華卓精科的產(chǎn)品業(yè)務(wù)較多，部分產(chǎn)品尚未規(guī)?；慨a(chǎn)，能否在這些已經(jīng)比較成熟的行業(yè)獲得成功仍需觀望。來源：智東西