中微公司尹志堯：繼續(xù)堅(jiān)定發(fā)展本土半導(dǎo)體行業(yè)和產(chǎn)業(yè)鏈

科創(chuàng)板開市三周年云上峰會(huì)今日正式舉行。本屆峰會(huì)由上海報(bào)業(yè)集團(tuán)指導(dǎo)，界面·財(cái)聯(lián)社|科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)主辦，以“硬核驅(qū)動(dòng)·新能引擎”為主題。中微公司董事長(zhǎng)、總經(jīng)理尹志堯作為演講嘉賓，在論壇上作了題為“半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)”主題演講。

尹志堯表示，伴隨國(guó)內(nèi)晶圓廠高增速持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)，半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)近年來迎來高速發(fā)展階段。半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)高增長(zhǎng)一方面是由于中國(guó)大陸市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)明顯，另一方面則是國(guó)內(nèi)等離子干法刻蝕和化學(xué)薄膜設(shè)備保持高速增長(zhǎng)，不斷覆蓋更多應(yīng)用。

“最近，南昌的某一生產(chǎn)線訂購(gòu)了100臺(tái)中微設(shè)備，以前像這樣的生產(chǎn)線都需要進(jìn)口美國(guó)、德國(guó)的設(shè)備，而現(xiàn)在基本實(shí)現(xiàn)了本土化?！币緢蛘f，我們要繼續(xù)堅(jiān)定發(fā)展本土半導(dǎo)體行業(yè)和產(chǎn)業(yè)鏈，提升我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的安全性和穩(wěn)定性。

以下為尹志堯先生的演講實(shí)錄：

尊敬的各位嘉賓、各位朋友：

大家好！在科創(chuàng)板成立三周年這個(gè)喜慶的日子里，非常有幸有機(jī)會(huì)給大家匯報(bào)一下半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)以及中微公司的簡(jiǎn)要介紹。

在2019年7月，中微公司非常有幸隨科創(chuàng)板第一批25家企業(yè)上市，并第一個(gè)達(dá)到千億市值?；叵脒@三年，此刻是非常激動(dòng)的！

下面我介紹一下我們所處在的行業(yè)，大家知道數(shù)碼產(chǎn)業(yè)是發(fā)展最快的，而且是國(guó)民經(jīng)濟(jì)的一個(gè)重大支柱產(chǎn)業(yè)。這個(gè)產(chǎn)業(yè)分成4個(gè)層次。最上面為上層建筑，軟件網(wǎng)絡(luò)、電商、傳媒、大數(shù)據(jù)、AI 、VR等，規(guī)模非常之大，但是它建立在一個(gè)電子系統(tǒng)的基礎(chǔ)上，小到電子玩具，大到全世界聯(lián)網(wǎng)的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，那么整個(gè)的電子系統(tǒng)又建立在集成電路產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)上，產(chǎn)業(yè)規(guī)模大概5000億到1萬億元左右。

集成電路的微觀器件制造，又建立在半導(dǎo)體設(shè)備這樣的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)上，中國(guó)有句古話叫“工欲善其事，必先利其器”，這個(gè)產(chǎn)業(yè)的尺度并不是很大，大概在500億到1000億元這樣的產(chǎn)值范圍。半導(dǎo)體設(shè)備又建筑在傳統(tǒng)工業(yè)的基礎(chǔ)上，我們所從事的就是半導(dǎo)體設(shè)備這個(gè)核心的產(chǎn)業(yè)。

舉個(gè)例子，使大家有一個(gè)直觀的感受。在過去的70年里，從上世紀(jì)50年代開始到現(xiàn)在，我們數(shù)碼產(chǎn)業(yè)做了一個(gè)最重要的一件事是什么東西呢？就是把微觀器件越做越小，在50年代的時(shí)候還沒有集成電路，有電子管的計(jì)算機(jī)，128k這樣的電子管計(jì)算機(jī)，要有2棟的5層大樓里面全部是電子管。我在北大讀研究生的時(shí)候，北大就有這樣的一個(gè)計(jì)算機(jī)，2棟5層的大樓里面全部是電子管在里面進(jìn)上，我后來到了硅谷的英特爾，那時(shí)已經(jīng)把128K容量做到一個(gè)指甲蓋上去了，在30年間，微觀器件面積上縮小100萬倍。又過了30年到2015年，日本東芝首先宣布做出了128G的閃存器件，在30年里又把微觀器件的面積縮小了100萬倍。

所以在70年來我們做了一件什么事呢？把東西越做越小，大家聽說這個(gè)摩爾定律，縮小了一萬億倍，而這里面是有10大類集成電路的微觀加工設(shè)備來輪番進(jìn)行加工，其中最關(guān)鍵的確定微觀尺度的就是兩個(gè)機(jī)器：一個(gè)是光刻機(jī)，一個(gè)是等離子體的刻蝕機(jī)，而且第三個(gè)就是化學(xué)薄膜設(shè)備，我們中微就是致力于制造離子刻蝕機(jī)和化學(xué)薄膜設(shè)備。

28納米器件結(jié)構(gòu)，已經(jīng)是比較成熟的器件生產(chǎn)，可以看到這里大概有二三十層復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，相當(dāng)于蓋一個(gè)微觀的樓房，我們的設(shè)備光刻機(jī)、等離子刻蝕機(jī)和薄膜設(shè)備，就這樣一層一層得把樓房蓋上去。薄膜就像一個(gè)木刻，要一個(gè)材料，光刻機(jī)就在材料上畫，等離子刻蝕機(jī)像刻刀，把不要的東西給它刻掉，從而形成三維立體結(jié)構(gòu)。

半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)其實(shí)是發(fā)展最快的行業(yè)。由于新冠疫情全球肆虐，2020年全球GDP增速是負(fù)值，到了2021年有所恢復(fù)，全球GDP實(shí)現(xiàn)5.9%增長(zhǎng)。但是可以看到集成電路去年生產(chǎn)增加了20%，而半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)增加了43.8%。過去幾十年來都是這樣，半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)是一個(gè)發(fā)展速度最快的產(chǎn)業(yè)。

剛才我提到半導(dǎo)體設(shè)備大概有10大類設(shè)備，其中目前最大的一類設(shè)備就是刻蝕設(shè)備，等離子刻蝕機(jī)每年大概有200億美元的市場(chǎng)；第二類是薄膜設(shè)備，也將近200億美元的市場(chǎng)；第三類最大的設(shè)備是光刻機(jī)，過去光刻機(jī)曾經(jīng)是最大類的設(shè)備，最近的5到7年，由于器件結(jié)構(gòu)的變化，光刻機(jī)所占比重有所下降，而等離子刻蝕劑和薄膜設(shè)備有所增長(zhǎng)；第四類設(shè)備則是檢測(cè)設(shè)備。

從另外一個(gè)角度來看，刻蝕設(shè)備占22%，化學(xué)薄膜設(shè)備在薄膜設(shè)備占相當(dāng)大比例，占15%，而光學(xué)檢測(cè)在檢測(cè)設(shè)備里又占了相當(dāng)大比例，大概占了將近5%。中微公司主要從事或設(shè)計(jì)的就是這三類設(shè)備，公司生產(chǎn)的各等級(jí)刻蝕設(shè)備已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)應(yīng)用全覆蓋，與沈陽(yáng)拓荊合作實(shí)現(xiàn)化學(xué)薄膜設(shè)備交叉覆蓋。此外，我們還投資了上海睿勵(lì)科技，進(jìn)一步研發(fā)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備。

這個(gè)產(chǎn)業(yè)雖然發(fā)展速度很快，但是有一個(gè)致命的問題，就是它的發(fā)展是不穩(wěn)定的。這張圖表示從1984年到2018年，每一年全世界的芯片生產(chǎn)線投資是前一年增長(zhǎng)百分之多少和減少百分之多少，大家可以看到最高的可以一年就增長(zhǎng)100%，而最不好的一年可以下降百分之三四十，所以我們這個(gè)產(chǎn)業(yè)是波動(dòng)很大的產(chǎn)業(yè)，它和國(guó)民經(jīng)濟(jì)狀況以及和集成電路本身新產(chǎn)品進(jìn)入市場(chǎng)的周期性有非常大的影響。所以我們必須要學(xué)會(huì)怎么駕馭浮動(dòng)的市場(chǎng)，保持公司穩(wěn)定增長(zhǎng)。

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從各個(gè)國(guó)家和地區(qū)投資芯片生產(chǎn)線以及購(gòu)買半導(dǎo)體設(shè)備的情況來看，去年2021年中國(guó)大陸第一年成為全球最大的市場(chǎng)，占了25%，市場(chǎng)非常興旺。第二大是中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)占23%，韓國(guó)的占21%，美國(guó)占14%，就是4大區(qū)域。但是在中國(guó)大陸里，其實(shí)本土的設(shè)備生產(chǎn)線的投資大概占一半，境外的先進(jìn)芯片生產(chǎn)公司在中國(guó)的投資占了一半左右。

從另一個(gè)角度來看，在中國(guó)建一條生產(chǎn)線，我們從哪些國(guó)家來購(gòu)買設(shè)備的？2020年的數(shù)據(jù)表明，從美國(guó)購(gòu)入占53%，占了一半以上，荷蘭占16%，主要是光刻機(jī)，日本占17%，中國(guó)自己提供的僅占10%，2021年暫時(shí)還沒有數(shù)據(jù)，大概估計(jì)中國(guó)國(guó)產(chǎn)設(shè)備占12-13%，所以我們的芯片的生產(chǎn)在很大程度上還依賴于國(guó)外設(shè)備的進(jìn)口，包括零部件和材料，所以這是一個(gè)情況比較嚴(yán)峻的情況。我們需要下定決心繼續(xù)發(fā)展本土的產(chǎn)業(yè)和產(chǎn)業(yè)鏈，使我們的集成電路能夠更加自主。最近5到7年，芯片器件產(chǎn)生了相當(dāng)多的變化，目前最先進(jìn)的EUV紫外光刻，用了13.5納米波長(zhǎng)的機(jī)器，只能刻出14納米的微觀結(jié)構(gòu)。而10納米以下到5納米，甚至3納米的微觀結(jié)構(gòu)是靠等離子刻蝕機(jī)和化學(xué)薄膜的組合拳，通過二重模板和四重模板等離子體刻出光刻尺度的1/2到1/4。

另外我們?cè)倏?，占大?guī)模生產(chǎn)的存儲(chǔ)器件也有根本性的變化。7年前基本上是兩維的芯片，比如在一個(gè)平面上把晶元件壓縮到大概在12納米左右，再往下壓縮就壓不下去了，所以就決定做成三維立體結(jié)構(gòu)?，F(xiàn)在可以做到128層，甚至到192層，將來做256層的結(jié)構(gòu)。在這種情況下，刻蝕機(jī)和薄膜設(shè)備的負(fù)擔(dān)就加重了，要加很多深層結(jié)構(gòu)，比如刻蝕機(jī)過去刻蝕一個(gè)淺層結(jié)構(gòu)，2-3分鐘可以刻，現(xiàn)在需要一個(gè)小時(shí)甚至到兩個(gè)小時(shí)，所以需要更多的刻蝕機(jī)和薄膜設(shè)備。所以從2011年到2021年的這10年里面，10種設(shè)備的增長(zhǎng)，每年平均年增長(zhǎng)都是不一樣的。其中，等離子干法刻蝕和化學(xué)薄膜是增長(zhǎng)最快的兩個(gè)設(shè)備。

下面簡(jiǎn)單解釋一下公司的情況，中微公司是2004年在開曼群島注冊(cè)，但是在上海建立了中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司，到現(xiàn)在為止已經(jīng)整整有18年的歷史。經(jīng)過6年的努力，我們?cè)?019年上了科創(chuàng)板，到現(xiàn)在為止，公司員工有1200人左右，去年公司產(chǎn)值達(dá)到了31億，正在以比較高的速度發(fā)展。

我們公司在10個(gè)國(guó)家布局，我們的宗旨是建立以中國(guó)為基地的，但是面向國(guó)際半導(dǎo)體市場(chǎng)的國(guó)際化公司，中微公司在國(guó)外和國(guó)內(nèi)共有6個(gè)子公司，包括在中國(guó)臺(tái)灣、新加坡、韓國(guó)、日本和美國(guó)，在歐洲有我們的代理商，各個(gè)地區(qū)有一共有15個(gè)區(qū)域的辦公室，我們?cè)谶^去的十年里一直保持了高于35%的年銷售增長(zhǎng)率。

在去年基數(shù)很高的基礎(chǔ)上，仍然有高于35%的增長(zhǎng)，在全世界70多條生產(chǎn)線上，我們積累的臺(tái)數(shù)有2300多個(gè)反應(yīng)臺(tái)，今年可能要超過3000臺(tái)的反應(yīng)臺(tái)。我們主要的客戶在等離子刻蝕機(jī)上面對(duì)的是集成電路的一流廠商，包括國(guó)內(nèi)和國(guó)際的廠商。MOCVD是我們的第二大產(chǎn)品，主要是泛半導(dǎo)體的發(fā)光二極管和顯示屏技術(shù)，面向的也都是國(guó)內(nèi)外的一流的廠商。

我們一共有四大產(chǎn)品，第一大產(chǎn)品也是最成熟的產(chǎn)品，是電容性的高能等離子刻蝕機(jī)，目前已經(jīng)進(jìn)入5納米晶圓生產(chǎn)線，并在5納米以下也取得了非常可喜的進(jìn)展。第二個(gè)產(chǎn)品是深硅刻蝕機(jī)，專門做先進(jìn)封裝和傳感器的刻蝕機(jī)。

中微公司在過去十幾年里開發(fā)了一系列等離子刻蝕機(jī)，基于不同的型號(hào)，包括高能CCP等離子刻蝕機(jī)和低能ICP等離子刻蝕機(jī)，這兩種機(jī)型都有單臺(tái)機(jī)和雙臺(tái)機(jī)，單臺(tái)機(jī)就是最高水平要求的刻蝕應(yīng)用，而雙臺(tái)機(jī)可以實(shí)現(xiàn)占地面積最小和最高的輸出量，來達(dá)到最低的成本，可以覆蓋大多數(shù)的刻蝕應(yīng)用，所以是一個(gè)非常完整的系列。

我們刻蝕、邏輯線路、動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器以及閃存的各種各樣的復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，在我們這個(gè)行業(yè)里面最難做課時(shí)的就是深孔刻蝕。經(jīng)過幾十年的努力，從我在80年代做的是3:1-5:1比的深孔，現(xiàn)在已經(jīng)做到60:1的深孔，我們?cè)?014年可以做到20:1的深孔刻蝕，就是深孔的深度和直徑的比是20:1，到2018年做到40:1，到2021年做到了60:1的深孔。將來再往下走的話，要刻是更細(xì)更深的孔，這是我們產(chǎn)業(yè)最大的挑戰(zhàn)。

另外在低能等離子刻蝕機(jī)方面，ICP 刻蝕機(jī)也可以刻出各種各樣的復(fù)雜結(jié)構(gòu)和形狀，中微公司的刻蝕精準(zhǔn)度已經(jīng)可以刻蝕上萬億個(gè)線條，它的寬度均勻性已經(jīng)做到了原子水平的加工精度。

我們的雙臺(tái)ICP低能等離子刻蝕機(jī)也有很好的表現(xiàn)，我們?cè)谑袌?chǎng)上所競(jìng)爭(zhēng)的對(duì)手大部分只有單臺(tái)機(jī)，沒有雙臺(tái)機(jī)，而我們有雙臺(tái)機(jī)的結(jié)構(gòu)，所以我們擁有相當(dāng)大的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。另外一個(gè)產(chǎn)品剛才我也提到了，是用于發(fā)光二極管到Mini LED顯示屏的MOCVD設(shè)備，這個(gè)設(shè)備有55噸重，有13米長(zhǎng)，需要40萬瓦功率支持，有4個(gè)反應(yīng)器，可以把底物加熱到1100度，來化學(xué)沉積的發(fā)光材料，我們已經(jīng)有三代的產(chǎn)品，目前在藍(lán)光、綠光的氮化鉀這樣的一個(gè)領(lǐng)域，我們處在國(guó)際最領(lǐng)先的地位。

就在南昌的一個(gè)大生產(chǎn)線上，一次性就定了100臺(tái)中微設(shè)備，過去都是美國(guó)、德國(guó)的設(shè)備，現(xiàn)在基本上都是國(guó)產(chǎn)化的。在2016-2021年，5年的時(shí)間里我們的銷售增長(zhǎng)保持在35%以上，在2021年和今年基數(shù)很高的情況下，仍然保持比較高速的增長(zhǎng)。從訂單來講，2021年比2020年增長(zhǎng)了90%，這個(gè)訂單增加了90%，付運(yùn)臺(tái)數(shù)增加了66.4%，而確認(rèn)收入增加了36.7%，如果按美元計(jì)算增加了43%，大概就是40%左右的增長(zhǎng)速度。

今年上半年雖然有疫情的肆虐，但是我們堅(jiān)持沒有停產(chǎn)繼續(xù)營(yíng)運(yùn)，所以今年上半年比去年上半年訂單又提高了61.8%，中微公司營(yíng)業(yè)收入提高了47.16%，凈利潤(rùn)扣非以后增長(zhǎng)了6倍左右，所以今年上半年業(yè)績(jī)也是非常好的，而且我們?nèi)司鶆?chuàng)收達(dá)到了非常高的水平，每人平均創(chuàng)收326萬人民幣，今年將達(dá)到更高。

另外大家知道我們這個(gè)行業(yè)是一個(gè)技術(shù)密集的行業(yè)，而且專利和出口控制非常嚴(yán)格。我們?cè)谑畮啄昀锷暾?qǐng)了專利2000多項(xiàng)，而且其中發(fā)明專利占85%，已經(jīng)核準(zhǔn)的項(xiàng)目有1179項(xiàng)，我們擁有相當(dāng)好的一個(gè)“專利池”來保護(hù)我們的技術(shù)產(chǎn)權(quán)。第二，我們?cè)谫|(zhì)量管理上也推行了整個(gè)一套管理制度，在去年4000萬家公司參與的質(zhì)量獎(jiǎng)評(píng)選中，我們名列第十五名，獲得了“提名獎(jiǎng)”，

在國(guó)際上的中微的發(fā)展也得到普遍認(rèn)可，美國(guó)有一個(gè)公司叫VLSI Research，它專門對(duì)全世界的集成電路半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行全球分析和評(píng)比，在2018年和2019年我們參與了這兩次評(píng)比，非常有幸被評(píng)為第三名，所以我們產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力和客戶滿意度比較廣泛地得到了產(chǎn)業(yè)認(rèn)可。等離子刻蝕機(jī)被評(píng)為第二名，而薄膜設(shè)備被評(píng)為了第一名，在2021年我們又第三次參與了評(píng)比，我們拿到了第四名，但是第四名和第三名只差了0.07分。此外，中微公司是唯一一家同時(shí)獲得三個(gè)獎(jiǎng)項(xiàng)的公司，在國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)得到了廣泛的認(rèn)可。

在刻蝕機(jī)方面，大概60%的零部件是在本土生產(chǎn)和采購(gòu)的，需要從美國(guó)采購(gòu)的部分大概在10%上下，MOCVD做得更好一些，80%的零部件已經(jīng)國(guó)產(chǎn)化，還有5%左右要從美國(guó)進(jìn)口。我們還在繼續(xù)努力，希望在5-10年內(nèi)能夠?qū)崿F(xiàn)更高水平的國(guó)產(chǎn)化率?，F(xiàn)在我們還在繼續(xù)開發(fā)不同的產(chǎn)品，特別是高端產(chǎn)品繼續(xù)進(jìn)入市場(chǎng)，時(shí)間有限，我就不解釋的簡(jiǎn)單就詳細(xì)解釋了。我們刻蝕設(shè)備主要將推出4個(gè)新產(chǎn)品，在MOCVD方面也將推出三個(gè)新產(chǎn)品，上述產(chǎn)品我們正在緊鑼密鼓地開發(fā)。

在我們開發(fā)產(chǎn)品和打入市場(chǎng)的同時(shí)，我們?nèi)ツ晖瓿闪?2億人民幣的融資，用于開發(fā)三個(gè)建設(shè)項(xiàng)目，為以后的10年和15年打下很好的基礎(chǔ)。其中第一個(gè)項(xiàng)目是南昌生產(chǎn)研發(fā)基地14萬平方米，到現(xiàn)在已經(jīng)開始部分啟用，臨港有個(gè)18萬平方米的生產(chǎn)研發(fā)基地，到年底也可以部分啟用。上海臨港滴水湖畔約10萬平方米的研發(fā)中心暨總部大樓也在順利建設(shè)，明年也可以部分投入使用。預(yù)計(jì)2024年，我們將擁有45萬平方米的廠房，而現(xiàn)在我們只有不到3萬平方米的廠房，會(huì)增長(zhǎng)15倍以上，以確保以后的10年至15年公司****展。

中微公司在過去的十幾年里面總結(jié)了各方面的經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn)，總結(jié)為叫“四個(gè)十大”，通過“四個(gè)十大”的總結(jié)和提高，保持公司繼續(xù)發(fā)展。具體包括“產(chǎn)品開發(fā)的十大原則”、“戰(zhàn)略銷售的十大準(zhǔn)則”、“營(yíng)運(yùn)管理的十大章法”和“精神文化的十大作風(fēng)”。

我們有這“四個(gè)十大”作為我們的法寶，可以確保在以后10年至15年實(shí)現(xiàn)高速、穩(wěn)定、健康和安全的發(fā)展。希望到2035年，我們能在規(guī)模上成為國(guó)際微觀加工設(shè)備一流行列之中。