消息稱ASML明年推出用于2nm芯片制造的高NA光刻機(jī)，英特爾已采購6臺(tái)

SamMobile 消息稱，ASML 將于未來幾個(gè)月內(nèi)推出用于 2nm 制程節(jié)點(diǎn)的芯片制造設(shè)備，將數(shù)值孔徑（NA）光學(xué)性能從 0.33 提高到 0.55，而三星計(jì)劃在 2025 年底開始生產(chǎn) 2nm 芯片。

據(jù)稱，ASML 明年規(guī)劃產(chǎn)能僅有 10 臺(tái)，而英特爾已經(jīng)預(yù)訂了其中 6 臺(tái)，不過 ASML 計(jì)劃在未來幾年內(nèi)將此設(shè)備產(chǎn)能提高到每年 20 臺(tái)。

目前，ASML 官網(wǎng)列出的 EUV 光刻機(jī)僅有兩款 ——NXE:3600D 和 NXE:3400C，均配備 0.33 NA的反射式投影光學(xué)器件及13.5nm EUV 光源，分別適用于 3/5nm 和 5/7nm 芯片制造。

ASML 發(fā)言人曾透露，EXE:5200 是 ASML 下一代高 NA 系統(tǒng)，具有更高的光刻分辨率，可將芯片縮小 1.7 分之一，同時(shí)密度增加至 2.9 倍。

之前的報(bào)道顯示，ASML 第一臺(tái) 0.55 NA EUV 光刻機(jī)計(jì)劃于 2025 年后量產(chǎn)，第一臺(tái)將交付給英特爾。

英特爾發(fā)言人稱，公司將成為 ASML 第一臺(tái) EXE:5200 的買家。與 EXE:5000 相比，EXE:5200 預(yù)計(jì)將帶來幾項(xiàng)改進(jìn)，包括更高的生產(chǎn)率等等。

根據(jù) Gartner 分析師 Alan Priestley 的預(yù)測(cè)，0.55 NA EUV 光刻機(jī)單價(jià)將翻番到 3 億美元（IT之家備注：當(dāng)前約 21.42 億元人民幣）。

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