全球芯片競爭 他是唯一有原創(chuàng)發(fā)言權(quán)的華人科學(xué)家

　　“做科技是不分地域的……，我們都是希望科技越做越好，希望大家不要惡性競爭，要良性競爭。

　　“(中國的半導(dǎo)體)有很多產(chǎn)品也賣得不錯，我想跟美國比當然是有點差距了，跟日本比我想差距會小一點，日本那邊的資歷跟人才各個方面可能沒有大陸那么有優(yōu)勢吧，將來要超越日本應(yīng)該是不難的。

　　“我很羨慕當今年輕人，你們這個時代沒有戰(zhàn)爭，不用逃難，豐衣足食，有很好的設(shè)備和儀器……但是你們的責任也是非常大的，你們將來必定要青出于藍而勝于藍，這個國家和社會的責任都在你們身上。”

　　2018年11月19日，在未來科學(xué)大獎頒獎現(xiàn)場，林本堅(Burn Lin)以一種飽經(jīng)世事的過來人口吻向聽眾講述自己的見解。

　　就在“雜交水稻之父”袁隆平等六位科學(xué)家分享另外兩個獎項的同時，這位早前在大陸名不見經(jīng)傳的科學(xué)家，卻一人獨攬100萬美元獎金。

　　連他自己都有些意外。

　　當他早前接到一個大陸的陌生電話，被通知得獎，聽到獎金數(shù)額，林的直觀反應(yīng)是：這個獎金不少哦。

　　之后，林本堅進一步了解到，每一位得獎?wù)呱砗?，至少有十幾位工作忙碌且很有成就的科學(xué)家為之寫推薦信。

　　作為未來科學(xué)大獎“數(shù)學(xué)與計算機科學(xué)獎”的唯一獲得者，林本堅憑什么，又是何來頭?

　　“大概從2006年開始至今，世界上所有的高端芯片-包括咱們?nèi)耸忠徊康氖謾C里的核心芯片、人工智能芯片、5G芯片、比特幣挖礦芯片，無一不是浸潤式光刻科技制造的。說沒有浸潤式光刻科技就沒有IT的今天，毫不夸張。世界上第一個提出這個科技的就是林本堅。” 未來論壇理事會輪值主席陳恂激動地說。

　　“委員會能找出他這樣在工業(yè)界做出世界級、決定性貢獻的華人科學(xué)家，真令人佩服!這樣的人在中國，絕無僅有?！?/p>

　　“你們看，Burn多孤單!”

　　“當時在IBM，寫個單子就能買最先進的設(shè)備，發(fā)個文章就能領(lǐng)先全世界?！?/p>

　　回憶起早年在美國的工作經(jīng)歷，林本堅至今覺得“很有趣，很穩(wěn)定，可以做一輩子?！?/p>

　　但金鱗豈非池中物。

　　在美國紐約州的IBM華生研究中心，他曾是孤獨的。

　　1980年代，因為對“微影路線之爭”的分歧，他與整個部門的關(guān)系變得火花四濺。所謂微影，是挾制整個半導(dǎo)體工業(yè)的光刻工藝，它的攻關(guān)進程決定了芯片特征尺寸的大小，是推進芯片性能迭代、建造強大計算和通信設(shè)備的關(guān)鍵技術(shù)。

　　1980年代后期的IBM乃至全球芯片界，曾一度全力攻關(guān)“X光微影”的研發(fā)。除了林本堅。

　　他仔細研究過X光微影，不僅光源不好解決、操作難度大，而且很快會觸達清晰度的極限。相較而言，紫外線微影不僅較易操作，而且提升空間更大。

　　一根筋的林本堅跑去央告老板：“只要給我X光十分之一的預(yù)算，我就能做出很多超越競爭對手的成果!”

　　可老板不為所動：“對手在大力推動X光，IBM不容落后!”

　　于是出現(xiàn)了這樣一幕：在部門例會上，一側(cè)是熙熙攘攘的“X光微影”團隊，人滿為患，而另一側(cè)是紫外光團隊的光桿司令林本堅。

　　“你看，Burn多孤單……”老板拐著彎兒地“勸退”他。

　　林本堅的目光向周圍一掃，回答道：“我選擇到最有成長空間的位置?！蔽輧?nèi)喧笑一團。

　　不久后，X光團隊完成一個技術(shù)攻關(guān)，眾人聚會慶祝，洋洋得意的老板給每人發(fā)了一件T恤，上面印著“X ray works(X光可用)”的字樣。

　　林本堅接過T恤，刷刷幾筆改成“X ray works-for the dentists(X光可用，給牙醫(yī)用)”，還專門懸掛在文件柜上，路過的老板和同事們都能看見。

　　這樁往事至今是老友們的笑料，同事們從此知道，隨和的Burn Lin一旦碰到專業(yè)上的挑釁，真的會像他的英文名Burn一樣易燃易爆炸。

　　“我常常跟很多人意見不一樣，如果我發(fā)現(xiàn)我是對的，我就不跟他們玩兒了?！睉浖巴?，他帶著一絲小傲嬌對網(wǎng)易科技記者說。既然無法改變潮水方向，那就利用手頭的資金和人手獨闖前路。

　　“做不可能之夢，戰(zhàn)不能敗之敵，忍不可忍之悲……”這是他早年最喜歡的一首描述堂吉訶德精神的歌曲。

　　很多年后，當他在臺積電研發(fā)130納米光刻芯片，每小時已經(jīng)可以做出100多片時，IBM還有人在用X光做250納米工藝，因為技術(shù)滯后且無法量產(chǎn)，最后不得不放棄。

　　“你們能不能管管他，不要攪局!”

　　為IBM工作22年的林本堅，在50歲時選擇提前退休。彼時，他已經(jīng)10度獲得美國IBM杰出發(fā)明獎、杰出優(yōu)秀獎，為公司創(chuàng)造多項世界第一，申請的專利資料堆滿文件柜。

　　“我離開IBM時，沒有歡送會?！彼粺o遺憾地回憶。

　　這位極少與人紅臉的儒雅先生，雖然在科研上一絲不茍，私下卻溫厚謙謹，從不舍得責罵下屬。離開IBM時，他或許曾期待一場惜別，卻等來一場交涉。

　　IBM希望他保證不會到對手那里工作。還提出他將來無論受聘誰家，都要提前告知，屆時再確認有沒有競爭關(guān)系。

　　老東家可能意識到了，林本堅這個人，只要不在自己手里，放到哪兒都是科研核武器。

　　這枚核武器后來回到故鄉(xiāng)臺灣，很快轟炸了整個半導(dǎo)體世界。

　　2002年，半導(dǎo)體行業(yè)奉為圭臬的摩爾定律突然失靈。

　　這個定律預(yù)言，當價格不變時，每隔18~24個月，集成電路上可容納的元器件數(shù)目就會增加一倍，性能和性價比隨之提高一倍。

　　出自科研界的說法是，晶體管越小，芯片就越快，耗能更少。

　　過去半個多世紀，全世界科學(xué)家都在想盡辦法延續(xù)這個定律，以維持信息技術(shù)的高速進步。然而，在把芯片尺寸縮小至65納米之后，業(yè)界卡殼了。

　　當時幾乎所有人都寄希望于157納米 波長光刻、以空氣為介質(zhì)的“干式”微影技術(shù)的突破上，全球頭部廠商為此投入幾十十多億美元，仍然毫無進展緩慢進展。

　　如果摩爾定律衰亡，意味著人類信息技術(shù)可能陷入停滯。

　　2002年，在一次國際微影研討會上，林本堅拋出一項顛覆干式工藝、利用水做介質(zhì)的“浸潤式微影”技術(shù)。據(jù)他介紹，這項技術(shù)不僅比傳統(tǒng)工藝造價低廉、操作簡便，而且還比157納米干式技術(shù)提高了整整2倍的芯片解析度!

　　現(xiàn)場幾千人聽得汗毛倒豎。如果這項技術(shù)行得通，整個芯片工藝可以前進兩代半至三代。

　　業(yè)界瞬間炸鍋。有人視他為救世主，有人視他為攪局者，有人揪住浸潤式工藝中“水容易產(chǎn)生污染、產(chǎn)生氣泡”等技術(shù)細節(jié)提出質(zhì)疑，有人抨擊他嘩眾取寵。

　　更大的反彈來自那些已經(jīng)為157納米工藝投入血本、甚至已建好生產(chǎn)設(shè)備的廠商，其中一家投入數(shù)億元的大公司直接給臺積電高層打電話：“你們能不能管管他，不要攪局!”

　　幸運的是，臺積電上至“大老板”張忠謀下至數(shù)百名工程師，鼎力襄助他做實驗、發(fā)論文、辦講演。

　　為了不授人以柄，每發(fā)表一項結(jié)論之前，他都會把數(shù)據(jù)推演到窮盡，甚至連未被提出的細節(jié)也一并設(shè)想，以實證回應(yīng)質(zhì)疑。

　　為了爭取那些為芯片量產(chǎn)做機器的廠商，林本堅親自跑遍美國、日本、德國、荷蘭等地，逐一拜會龍頭企業(yè)，不成想，一上來就遭遇一家美國大廠當頭棒喝：我們絕不會用你的科技，永遠不!

　　這一年，林本堅60歲。以技術(shù)虔誠，在大大小小的商人面前苦口婆心。

　　“他一個人站在一艘‘航空母艦’前叫停。”美國國家工程院院士、臺灣新竹交通大學(xué)校長張懋中如此評價林的孤膽。

　　經(jīng)過反復(fù)拜會，世界最大的光刻機制造商荷蘭艾斯摩爾、尼康等國際大廠漸漸服膺于這位華人科學(xué)家的縝密論證和眼光，紛紛轉(zhuǎn)向。

　　2003年，艾斯摩爾公司給林本堅展示了剛剛趕制出來的第一片用浸潤式曝光機做出的成像，一向恭謹舉止得體的林本堅興奮得手舞足蹈。

　　不久之后，浸潤式微影技術(shù)正式量產(chǎn)。

　　從量產(chǎn)第一代45納米芯片開始，工業(yè)界40納米、32納米、28納米、20納米、16納米、14納米、10納米、7納米芯片，都靠浸潤式技術(shù)推進。

　　2014年，一次在臺灣地區(qū)接受電視節(jié)目采訪，主持人特意問到林本堅，他這個獨步全球的“微影浸潤式技術(shù)”到底是個什么樣的技術(shù)?

　　林本堅描述說，這項技術(shù)主要就是將一個集合了各種線、管的電路系統(tǒng)縮到超級小，植到晶片上。縮到多小呢?譬如說，把一根頭發(fā)剪下來，就是這根頭發(fā)橫截面那么大，“我們現(xiàn)在的科技可以做到放七千個電路在上面，所以這是很奇妙的地方。”

　　林本堅的工作，就是負責差不多每兩年將之縮小30%，“繼續(xù)把可以成像的東西縮小”。

　　據(jù)媒體報道，林本堅在未來科學(xué)大獎之后曾到清華大學(xué)演講，經(jīng)他披露，光影微刻技術(shù)如今發(fā)展到一個頭發(fā)橫截面已經(jīng)可以裝下20735個SRAM(一種存儲器)單元。

　　摩爾定律起死回生。

　　據(jù)不完全統(tǒng)計，今天世界上每年超82%的芯片由浸潤式微影技術(shù)生產(chǎn)，從2002年至今，林本堅以兩年一迭代的速度，將摩爾定律向前推進了7代。

　　“他真是越來越厲害了”

　　僅2017年，全世界就有1.5億顆芯片由浸潤式微影技術(shù)制造產(chǎn)生。而臺積電在全球半導(dǎo)體制造市場的份額，去年超過56%，是第二名的4倍多，名冠第一毫無疑問。

　　世界半導(dǎo)體看中國臺灣，臺灣半導(dǎo)體看臺積電，本世紀以來擎起臺積電的一根柱子，是林本堅。

　　2000年，全球互聯(lián)網(wǎng)泡沫破裂，半導(dǎo)體行業(yè)遭受重創(chuàng)。當時跟著大廠亦步亦趨的臺積電在危機淘汰的邊緣苦撐待變。

　　就在這一年，年屆花甲的林本堅放棄在美國38年的產(chǎn)業(yè)、人脈、名望，加入前途未卜的臺積電。

　　“孩子們當時已經(jīng)在美國成家立業(yè)，我知道他們不會跟我回來?！绷直緢哉f。

　　一向理解他的妻子黃修慧，當時剛剛在美國找到一份新工作，心里也著實作了一番思想斗爭，最后還是決定隨丈夫返回臺灣。

　　當年從IBM離職后，盛名在外的Dr.Burn Lin不知是多少大企業(yè)垂涎的科學(xué)偶像，他前腳走出IBM，后腳就有幾家產(chǎn)業(yè)龍頭遞來橄欖枝，其中一家直接送來聘書，待遇榮寵，另一家更大的公司派副總作陪吃飯，都被林本堅婉言謝絕。

　　相較之下，當時的臺積電實在有點“寒酸”，早年差點被IBM收購。

　　入職后，臺積電配給他的團隊不到50人，把他請進門的副總蔣尚義，小心翼翼地問他對待遇有什么要求。林本堅沒提任何要求，而臺積電把當時所能給的最好的待遇都給了他。

　　一個求賢若渴，一個虛懷若谷。這一干就是15年。

　　入職后，林本堅不僅以浸潤式微影取代干式微影，一舉讓臺積電進階為產(chǎn)業(yè)技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者，而且把科研隊伍從50人擴充到700多人，帶出一支世界上最領(lǐng)先的微影技術(shù)研發(fā)隊伍，由此建立臺灣半導(dǎo)體制造霸權(quán)。

　　2004年，林本堅的浸潤式微影成為業(yè)界“顯學(xué)”，逐漸逆襲成全球主流技術(shù)。

　　英特爾等半導(dǎo)體龍頭及設(shè)備商認定，這是摩爾定律跨入45納米之后的解決方案，國際輿論也稱，這項技術(shù)使臺積電設(shè)計能力足夠和IBM、英特爾等巨頭并駕齊驅(qū)。

　　網(wǎng)易科技記者讀到相關(guān)資料記錄，臺積電的193納米浸潤式微影機臺當初一出，IBM等十家原來訂購157納米干式機的國際半導(dǎo)體廠紛紛退單，跟進臺積電，改訂浸潤式機臺。

　　此后的臺積電在芯片迭代上一路搶跑，躋身一線大廠，領(lǐng)銜世界半導(dǎo)體工業(yè)近20年。

　　林本堅的這一技術(shù)創(chuàng)新，連之前將他挖入的臺積電前共同運營長蔣尚義都直呼沒想到。

　　十多年前，蔣就曾對媒體說道：

　　“我們發(fā)現(xiàn)他真是越來越厲害了，他193浸潤式的方法，改寫了全世界半導(dǎo)體微影藍圖，產(chǎn)業(yè)界為了開發(fā)157納米花了幾十億美元，但是因為他，這幾十億的美元全像倒在海里去了，沒有了?！?/p>

　　他終究改變了潮水方向。

　　2012年，臺積電總營收達到170億美元，其中47%來自浸潤式技術(shù)。2016年營收320億，浸潤式撐起半壁江山。

　　臺積電老董事長、“半導(dǎo)體教父”張忠謀曾在他的退休晚會上說：假如沒有你和你所建立的團隊，臺積電不會有今天。

　　2008年，林本堅以臺灣科學(xué)家的身份當選為美國國家工程院院士。

　　今年11月，林本堅成為第一個獲頒2018未來科學(xué)大獎的臺灣科學(xué)家。

　　頒獎當天，這位低調(diào)神秘的76歲老人像剛被發(fā)掘的寶藏，被各路記者拉著腳不沾地轉(zhuǎn)場。

　　他彬彬有禮、豐采奕奕，顛覆了人們對科研工作者的一貫印象。有關(guān)他的奇事被從幕后搬上臺前，收獲著大陸科研界的掌聲。

　　但他似乎并不習(xí)慣被聚焦。記者們喜歡奇談怪論，他的發(fā)言卻像一堂認認真真的學(xué)術(shù)報告。

　　內(nèi)斂、安靜、風趣，這幾個特點，是洋溢在林本堅身上的易被感知的特點。

　　在科學(xué)家的崗位上盡責盡心，當先生，又表現(xiàn)得體、周道。

　　未來科學(xué)大獎頒獎典禮走紅毯的入場環(huán)節(jié)中，和別的獲獎?wù)哂兴煌?，林本堅攜家人入場時，走在C位的不是他自己，而是他那位白發(fā)蒼蒼的太太黃修慧女士。

　　黃女士左手牽著丈夫，右手挽著從美國專程趕來的兒子，在一眾媒體的見證下，三人一字排開，在紅毯上不疾不徐地走過，家庭在林本堅心目中的排位，斤兩可見。

　　發(fā)表獲獎感言時，林本堅用較多篇幅講科研和人生歷程，把感謝太太的話放到最后面說，對太太重重夸贊，“我要是有什么成就的話，這位太太的功勞是不容埋沒的”。

　　主持人等他發(fā)言完，壞壞地打趣他，“我作為一位語言工作者，給您一個小小提示，下次您就直接說太太，不要說這位太太?！?/p>

　　全場哄笑。

　　領(lǐng)獎后，他攜妻兒匆匆離去。自2015年從臺積電退休后，他的角色便從叱咤業(yè)界的芯片大師，回歸為一位丈夫、一位父親，一位授業(yè)解惑的老師。

　　“他的心，跟上了他的每一個步伐?！?/strong>

　　許多人試圖以“成功學(xué)”的眼光解析林本堅，希望為年輕學(xué)者、尤其是青黃不接的大陸芯片界尋找起飛靈感。

　　可惜他的信條都太過樸拙——誠信、正直、操守，還有反復(fù)強調(diào)的合作精神。

　　“技術(shù)上的困難都是紙上談兵，要有晚上睡不著覺的信念去解決問題?！彼χ銊钅贻p人，做科研一定是享受科學(xué)樂趣的，“不要死犟，要會轉(zhuǎn)彎，會求助，‘三個臭皮匠頂個諸葛亮’?！?/p>

　　在臺積電，這位神仙級科學(xué)家溫和如老師，不發(fā)脾氣，不罵人，對下級與上級一樣尊重、信任，謙和到所有人都喊他Burn爺爺，細致到每次演講都親自修改主題、字體，重復(fù)演練。

　　可一旦涉及科研水平、技術(shù)原則，他又極度專注、嚴謹甚至鐵腕。

　　當初浸潤式微影提出后，林本堅成為相關(guān)利益方的活靶子，不少大企業(yè)指名道姓地戳脊梁骨，他始終未見半分退縮。

　　同事們都說：Burn內(nèi)心堅定如鐵，行動上卻“以柔克剛，以德服人”。他身上好像有種魔力，能讓英特爾這樣桀驁的老大哥都舍棄數(shù)年研究投入，跟著他林本堅、跟著臺積電一起轉(zhuǎn)彎。

　　這種磁場，與其說是魔力，不如說是掌控力。對事業(yè)如此，對家庭、生命亦如此。

　　“我熱愛科學(xué)，但我不能讓科學(xué)主宰我的生命。”

　　確切地說，他不僅沒讓工作主宰生命，反而是一個精通攝影、小提琴、網(wǎng)球、桌球，酷愛籃球、聲樂、溜冰、旅行和各種小發(fā)明的多才多藝多樂的人生玩家。

　　早年在IBM工作時，很多同事因為工作外派與家人長期分居，林本堅也被外派，但不論離家多遠，他每周末寧可驅(qū)車來回十幾個鐘頭也要往家趕。

　　“有時間我蠻喜歡下廚，炒牛肉，做白斬雞……”林本堅在自傳《把心放上去》中寫道，他還偶爾用相機、鮮花、音樂和其他小禮物，為妻子精致地準備一個surprise……

　　在其他人生角色上的成功，絲毫不遜于他作為科學(xué)家的精彩。

　　在北京參加未來科學(xué)大獎典禮的幾天里，林本堅總是一副精致而優(yōu)雅的派頭，頭發(fā)梳理得紋絲不亂，一身西服整潔端莊，舉止紳士。

　　“您氣質(zhì)真好!”在網(wǎng)易科技采訪現(xiàn)場，攝影師由衷贊嘆。林本堅風度翩翩，讓人猜不出年齡。

　　從臺積電退休后，林本堅在數(shù)所大學(xué)兼任教授，還和妻子一同為俄亥俄州立大學(xué)母校創(chuàng)辦助學(xué)基金。此次未來大學(xué)大獎的100萬美元獎金，也全數(shù)捐入基金會。

　　“他的心，跟上了他的每一個步伐?！边@是一位摯友對林本堅的評價。

　　作為科學(xué)家，在外，45年如一日，開山辟路，榮譽等身，業(yè)界隆崇。在內(nèi)，父慈子孝，伉儷榮諧，活力盎然?！啊Ｓ米约合Ｍ姆绞?，過自己想要的生活”——網(wǎng)絡(luò)上被談?wù)摰倪@一條人生贏家標準，用在林本堅身上，可謂相得益彰。

　　在美國，有一個著名的牧師，家里有四個兒子，他既想當一個好父親，又要經(jīng)常出去演講奔忙，兩者怎么兼顧?這位牧師想出一個巧妙的辦法，每當外出演講時，他就把兒子們都帶去，一舉兩得。

　　采訪中，林本堅講到這個例子，建議大家不妨學(xué)學(xué)。

　　“從事科學(xué)的人應(yīng)該會管理時間。” 一腳踏入真理科學(xué)，一腳踏入煙火凡塵，方舟并騖，活得務(wù)實、活出哲學(xué)味的林本堅說，“家庭、工作、生命是人的金三角，也是每個人的所有。我會用心發(fā)揮，也用心平衡?！?/p>