《瓦森納協(xié)議》不攻自破？這幾家大陸廠喜提ASML設(shè)備

　　隨著全球半導(dǎo)體行業(yè)的競爭已經(jīng)進(jìn)入到了“下半場”，臺積電和三星在7nm正打得火熱，但兩邊手里的“武器”，也就是極紫外光刻(EUV)光刻機(jī)，均是來自于ASML。

　　曾經(jīng)，一直傳言受西方《瓦森納協(xié)議》的限制，中國只能買到ASML的中低端產(chǎn)品，但ASML后來正式澄清，其最高端的EUV光刻機(jī)進(jìn)口到中國大陸完全沒有問題。

　　那么近兩年以來，大陸有哪些集成電路制造商引進(jìn)了ASML的設(shè)備呢?

　　中芯國際：1.2億美元的EUV光刻機(jī)

　　去年5月，中芯國際向ASML訂購了一套EUV設(shè)備，據(jù)傳是當(dāng)時最昂貴和最先進(jìn)的芯片生產(chǎn)工具，價值高達(dá)1.2億美元，這一設(shè)備預(yù)計(jì)將于2019年年初交付。

　　知情人士表示，1.2億美元的價格和2019年的交貨時間可能不準(zhǔn)確，但訂單是真實(shí)的。他還指出，如果價格是1.2億美元，臺積電和三星的價格也不會低于這個數(shù)目。也就是說，ASML給到中芯國際的價格已經(jīng)很便宜了。

　　集微網(wǎng)記者根據(jù)價格推測，中芯國際訂購的這臺EUV光刻機(jī)的型號應(yīng)該是TwinscanNXE：3400B，這是當(dāng)時市面上最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)設(shè)備。

　　據(jù)ASML官網(wǎng)顯示，這臺價值1.2億美元的天價設(shè)備，能夠支持精細(xì)到5nm工藝節(jié)點(diǎn)的批量生產(chǎn)，由此也可以見得，14nm不是中芯國際的最終目標(biāo)，7nm時代并不會太遙遠(yuǎn)。

　　在其他數(shù)據(jù)方面，該設(shè)備采用了卡爾蔡司SMT全反射4倍光學(xué)變焦鏡頭組件，最大曝光范圍為26mm×33mm，擁有每小時155片的300mm尺寸晶圓雕刻能力。

　　要知道，這臺價值EUV設(shè)備的價值大致相當(dāng)于中芯國際2017年的1.26億美元凈利潤，半導(dǎo)體行業(yè)專家莫大康曾表示這是為研發(fā)做準(zhǔn)備的大投資，但不能高興的太早，因?yàn)樵O(shè)備出口許可證，ASML說了不算，還要聽美國的。

　　不過，ASML今年還將推出產(chǎn)能更高的新型號TwinscanNXE:3400C，每小時晶圓雕刻能力將從155片提升至170片，并換裝了Cymer公司的340W光源。這樣一來，預(yù)計(jì)3400B運(yùn)抵中芯國際廠區(qū)的時候，已經(jīng)不再是市面上最先進(jìn)的EUV設(shè)備了。

　　長江存儲：NXT1980Di

　　就在中芯國際下單EUV光刻機(jī)幾天后，長江存儲購買自ASML的光刻機(jī)也運(yùn)抵了武漢天河機(jī)場，陸續(xù)還有多臺進(jìn)廠。

　　根據(jù)集微網(wǎng)當(dāng)時的報(bào)道，這臺光刻機(jī)為ASML的193nm浸潤式光刻機(jī),型號為NXT1980Di，售價達(dá)7200萬美元(約合人民幣4.6億元)，用于10nm級(14～20nm)的晶圓生產(chǎn)。

　　據(jù)了解，長江存儲在2016年啟動了位于武漢的國家存儲器基地的建設(shè)，總投資高達(dá)240億美元，按計(jì)劃，2020年月產(chǎn)能將達(dá)到30萬片。

　　華虹六廠：喜提14nm關(guān)鍵設(shè)備

　　去年5月21日上午，華虹集團(tuán)旗下上海華力集成電路制造有限公司建設(shè)和營運(yùn)的12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目(“華虹六廠”)首臺工藝設(shè)備光刻機(jī)正式進(jìn)廠。

　　這臺ASML的光刻機(jī)型號與長江存儲的193nm雙級沉浸式光刻機(jī)一樣，都是NXT1980Di，這兩臺也是當(dāng)時大陸裝備的最先進(jìn)的沉浸式光刻設(shè)備。

　　華力12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目是上海市最大的集成電路產(chǎn)業(yè)投資項(xiàng)目，總投資387億元人民幣，將建成月產(chǎn)能4萬片的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線，工藝覆蓋28-14納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)。

　　預(yù)計(jì)該生產(chǎn)線將于2022年底建成達(dá)產(chǎn)，未來主要從事邏輯芯片生產(chǎn)，重點(diǎn)服務(wù)國內(nèi)設(shè)計(jì)企業(yè)先進(jìn)芯片的制造，并滿足部分事關(guān)國家信息安全的重點(diǎn)芯片制造需求。

　　SK海力士(無錫)：如期而至的NXT:2000i

　　去年8月，ASML曾表示已經(jīng)開始出貨新設(shè)備TwinscanNXT:2000iDUV(NXT:2000i雙工件臺深紫外光刻機(jī))，可用于7nm和5nm節(jié)點(diǎn)，并表示不久后就將進(jìn)入大陸。

　　ASML果然沒有食言，去年12月19日晚間，中國首臺ASMLNXT:2000i正式搬入SK海力士位于無錫的工廠。

　　NXT:2000i將是NXE:3400BEUV光刻機(jī)的有效補(bǔ)充，臺積電的第一代7nm全部采用了DUV工藝，在第二代7nm工藝(CLNFF+/N7+)，臺積電首次應(yīng)用了EUV，不過僅限四個非關(guān)鍵層，其他關(guān)鍵層仍然使用的是DUV工藝。

　　作為當(dāng)前ASML旗下套刻精度(overlay)最高的產(chǎn)品，NXT:2000i達(dá)到了和3400B一樣的1.9nm(5nm要求至少2.4nm，7nm要求至少3.5nm)精度。

　　無錫是SK海力士在中國的DRAM內(nèi)存芯片生產(chǎn)基地，目前每月晶圓的產(chǎn)量約為14萬片。另外，SK海力士還成立了SKHynixSystemIC公司，開始進(jìn)軍晶圓代工市場，同時增加1000萬美元投資，在無錫擴(kuò)大了模擬IC芯片業(yè)務(wù)。

　　粵芯：神秘的運(yùn)輸車

　　今年3月15日，廣州粵芯半導(dǎo)體在廣州舉行了主設(shè)備進(jìn)場儀式。日前，曾有數(shù)臺載有半導(dǎo)體設(shè)備的運(yùn)輸車進(jìn)入了粵芯的廠區(qū)，其中就有一臺格外引人注目，因?yàn)槠滠噹獠坑∮蠥SML商標(biāo)。

　　據(jù)集微網(wǎng)記者了解，粵芯半導(dǎo)體項(xiàng)目是國內(nèi)第一座以虛擬IDM(irtuallDM)為營運(yùn)策略的12英寸芯片廠，也是廣州第一條12英寸芯片生產(chǎn)線，一期目標(biāo)產(chǎn)能為4萬片每月，投資高達(dá)100億元。

　　粵芯半導(dǎo)體目前的工藝覆蓋90nm到180nm，產(chǎn)品主要包括微處理器、電源管理芯片、模擬芯片、功率分立器件等。二期工程建成后，能滿足物聯(lián)網(wǎng)、汽車電子、人工智能、5G等創(chuàng)新應(yīng)用的模擬芯片需求，屆時工藝覆蓋將為40nm到65nm。

　　單以工藝節(jié)點(diǎn)的覆蓋來推測的話，這臺ASML的設(shè)備，有可能是TwinscanNXT:1965Ci，該設(shè)備能滿足20nm級別的光刻工藝需求。

　　鞋是別人的，路還要靠自己走

　　ASML去年的凈銷售額為109億歐元，凈收入為26億歐元。僅第4季度就收到了5個EUV設(shè)備訂單。按計(jì)劃，今年更將出貨30臺EUV設(shè)備，其中包括DRAM客戶的首批批量生產(chǎn)系統(tǒng)。

　　中國大陸的半導(dǎo)體制造目前還落后于世界一流水平兩至三代，雖然如今有ASML先進(jìn)的硬件設(shè)施鼎力相助，但還需要自身工藝研發(fā)方面取得突破。

　　如今，就連臺積電和三星這樣的大廠都要看ASML的臉色行事，沒有ASML提供設(shè)備，他們的先進(jìn)工藝研發(fā)也會受阻。中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在追趕世界第一梯隊(duì)的路上，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化具有重要戰(zhàn)略意義。

　　雖然去年出現(xiàn)過一臺號稱能做10nm的國產(chǎn)光刻機(jī)，但后來澄清了這臺只是原理機(jī)，不專業(yè)的報(bào)道一度引得國人拍手叫好。其實(shí)，國內(nèi)也有像中微半導(dǎo)體和北方華創(chuàng)這樣有實(shí)力的半導(dǎo)體設(shè)備廠商，雖然與ASML有一定實(shí)力差距，但要想不受制于人，只有自主研發(fā)一條路。