euv 文章 進(jìn)入euv技術(shù)社區(qū)
半導(dǎo)體廠倚重EUV 先進(jìn)微影技術(shù)的強勁需求
- 微影設(shè)備業(yè)者ASML第一季已完成136臺極紫外光(EUV)曝光機出貨,累計超過7,000萬片晶圓完成EUV曝光。隨著EUV微影技術(shù)推進(jìn),預(yù)期2025年之后新一代EUV曝光機每小時曝光產(chǎn)量可達(dá)220片以上,以因應(yīng)客戶端先進(jìn)制程推進(jìn)至埃米(Angstrom)世代對先進(jìn)微影技術(shù)的強勁需求。雖然2023年半導(dǎo)體市況能見度低且不確定性高,但包括臺積電、英特爾、三星、SK海力士、美光等全球前五大半導(dǎo)體廠仍積極投資EUV產(chǎn)能,加上制程推進(jìn)會帶動光罩層數(shù)增加,法人樂觀看好家登、帆宣、公準(zhǔn)、意德士(等EUV概念股明年營運將
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泛林集團、Entegris 和 Gelest 攜手推進(jìn) EUV 干膜光刻膠技術(shù)的生態(tài)系統(tǒng)

- 泛林集團 (NASDAQ: LRCX)、Entegris, Inc. 和三菱化學(xué)集團旗下公司 Gelest, Inc, 于近日宣布了一項戰(zhàn)略合作,將為全球半導(dǎo)體制造商提供可靠的前體化學(xué)品,用于下一代半導(dǎo)體生產(chǎn)所需的、泛林突破性的極紫外 (EUV)干膜光刻膠創(chuàng)新技術(shù)。三方將合作對未來幾代邏輯和 DRAM 器件生產(chǎn)所使用的 EUV 干膜光刻膠技術(shù)進(jìn)行研發(fā),這將有助于從機器學(xué)習(xí)和人工智能到移動設(shè)備所有這些技術(shù)的實現(xiàn)。? ? ? ? ? ? ?
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卡脖子也沒用 國內(nèi)廠商芯片新技術(shù)繞過EUV光刻機
- 毫無疑問,如今國內(nèi)芯片廠商面前最大的障礙就是EUV光刻機,不過EUV光刻機是研制先進(jìn)芯片的一條路徑,但并非唯一解。 對于國內(nèi)廠商來說,當(dāng)前在3D NAND閃存的發(fā)展上,就因為不需要EUV機器,從而找到了技術(shù)追趕的機會。而在DRAM內(nèi)存芯片領(lǐng)域,盡管三星、美光、SK海力士找到的答案都是EUV,可來自浙江海寧的芯盟則開辟出繞過EUV光刻的新方案。芯盟科技CEO洪沨宣布基于HITOC技術(shù)的3D 4F2 DRAM架構(gòu)問世。他指出,基于HITOC技術(shù)所開發(fā)的全新架構(gòu)3D 4F2 DRA
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ASML 分享 High-NA EUV 光刻機最新進(jìn)展:目標(biāo) 2024-2025 年進(jìn)廠
- 5 月 29 日消息,半導(dǎo)體行業(yè)花了十多年的時間來準(zhǔn)備極紫外線 (EUV) 光刻技術(shù),而新的高數(shù)值孔徑 EUV 光刻(High-NA EUV)技術(shù)將會比這更快。目前,最先進(jìn)的芯片是 4/5 納米級工藝,下半年三星和臺積電還能量產(chǎn) 3nm 技術(shù),而對于使用 ASML EUV 光刻技術(shù)的 Twinscan NXE:3400C 及類似系統(tǒng)來說,它們大都具有 0.33 NA(數(shù)值孔徑)的光學(xué)器件,可提供 13 nm 分辨率。目前來看,這種分辨率尺寸對于 7 nm / 6 nm 節(jié)點 (36 nm ~ 38 nm)
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首發(fā)“4nm” EUV工藝!Intel 14代酷睿真身曝光:GPU堪比獨顯

- Intel的12代酷睿處理器去年就已經(jīng)發(fā)布,首次上了性能+能效的異構(gòu)設(shè)計,今年的13代酷睿代號Raptor Lake,下半年發(fā)布,屬于12代的改進(jìn)版,明年的14代酷睿Meteor Lake則會大改,升級Intel 4工藝,也是Intel首個EUV工藝?! ?4代酷睿的架構(gòu)也會大改,第一次采用非單一芯片設(shè)計,彈性集成多個小芯片模塊,包括下一代混合架構(gòu)CPU、tGPU核顯引擎、AI加速單元,而且功耗非常低?! ?4代酷睿Meteor Lake也會是Intel酷睿系列中首個大量使用3D Foveros混合封
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應(yīng)用材料推出運用EUV延展2D微縮與3D環(huán)繞閘極晶體管技術(shù)

- 半導(dǎo)體設(shè)備大廠應(yīng)用材料推出多項創(chuàng)新技術(shù),協(xié)助客戶運用極紫外光(EUV)持續(xù)進(jìn)行2D微縮,并展示業(yè)界最完整的次世代3D環(huán)繞閘極(Gate-All-Around,GAA)晶體管制造技術(shù)組合。芯片制造商正試圖透過兩個可相互搭配的途徑來增加未來幾年的晶體管密度。一種是依循傳統(tǒng)摩爾定律的2D微縮技術(shù),使用EUV微影系統(tǒng)與材料工程以縮小線寬。另一種是使用設(shè)計技術(shù)優(yōu)化(DTCO)與3D技術(shù),巧妙地藉由優(yōu)化邏輯單元布局來增加密度,而不需要改變微影間距。第二種方法需要使用晶背電源分配網(wǎng)絡(luò)與環(huán)繞閘極晶體管,隨著傳統(tǒng)2D微縮技
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ASML公司開撕美國?光源技術(shù)不是根源,不交付EUV光刻機另有原因
- ASML公司雖然是荷蘭企業(yè),但不少網(wǎng)友都把ASML公司“美”化了,這里的“美”指的是美國。在華為遭遇到芯片封鎖之前,中國半導(dǎo)體企業(yè)就曾向ASML公司支付了定金,采購了一臺EUV光刻機。然而,ASML公司卻遲遲沒有發(fā)貨,這也引起了網(wǎng)友的各種猜疑。眾所周知,全世界只有ASML公司能夠生產(chǎn)EUV光刻機,而一部EUV光刻機上就有超過10w的精密零件,各方面的技術(shù)也是來自全世界各國的頂尖技術(shù)。所以ASML公司的光刻機一直是供不應(yīng)求。但明明已經(jīng)收了定金,10億一部的EUV光刻機,ASML公司為何有生意不做呢?大部分的
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雪佛蘭Bolt EV/EUV在電池起火召回后終于宣布恢復(fù)生產(chǎn)
- 通用汽車(GM)已經(jīng)恢復(fù)了2022款雪佛蘭Bolt EV和EUV的生產(chǎn),現(xiàn)在它們可以獲得新電池組的供應(yīng),而這些電池組應(yīng)該不會有火災(zāi)隱患。此前,雪佛蘭Bolt因潛在的電池火災(zāi)而被召回,該次召回影響到了所有的車型,導(dǎo)致Bolt EV和EUV汽車的生產(chǎn)自去年8月起完全凍結(jié)?!拔覀兊哪繕?biāo)是恢復(fù)并坦率地說超過業(yè)務(wù)指標(biāo),”雪佛蘭營銷副總裁Steve Majoros在昨日的新聞電話會議上說道。Bolt的復(fù)出計劃包括趕上新的2022款Bolt EV和EUV訂單(2023年的訂單將于7月開始)、將在MLB開幕日投放的新電視
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阿斯麥CEO:不賣EUV給中國大陸“是政府們的選擇”

- (原標(biāo)題:光刻機巨頭阿斯麥CEO:不賣EUV給中國大陸“是政府們的選擇”)【文/觀察者網(wǎng) 呂棟】“這不是我們的選擇,而是政府們(《瓦森納協(xié)定》成員國)的選擇?!比涨埃商m光刻機巨頭阿斯麥CEO溫彼得再次就向中國大陸出口EUV光刻機一事解釋道。他今年1月曾表示,中國不太可能獨立復(fù)制出(replicate)頂尖的光刻技術(shù),但也別那么絕對,“他們肯定會嘗試”。觀察者網(wǎng)注意到,由于最先進(jìn)的EUV設(shè)備無法向中國大陸出口,溫彼得自2021年以來曾多次發(fā)聲。2021年4月,他曾喊話美國政府,對華出口管制不僅不能阻礙中國
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ASML:努力向中國提供一切能夠提供的技術(shù)

- 芯片行業(yè)一直是困擾全球的“卡脖子”領(lǐng)域,而其中核心的光刻機技術(shù)被幾家公司牢牢的攥在手里。想要在芯片領(lǐng)域有長足的進(jìn)步,光刻機這種核心設(shè)備就要有所突破。而之前美國通過自身在全球市場的控制能力,通過修改法案等手段一直將光刻機設(shè)備和技術(shù)限制對中國進(jìn)行輸出。但近期光刻機頭部企業(yè)ASML則明確表態(tài)將會盡其所能向中國市場提供一切他們能夠提供的技術(shù),其中DUV光刻機將會不需要認(rèn)可許可即可向中方企業(yè)提供。ASML光刻機除此之外,ASML表示在當(dāng)前法律框架之下,他們除了EUV光刻機無法向中方企業(yè)提供,其他產(chǎn)品都可以正常發(fā)售。
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單臺1.5億美元 ASML制造新一代EUV光刻機

- 據(jù)《連線》雜志報道,在美國康涅狄格州郊區(qū)的一間潔凈室中,ASML的工程師們正在為一臺單臺造價1.5億美元的新機器制造關(guān)鍵部件,該部件是新一代EUV系統(tǒng)的組成部分,會采用一些新技術(shù)來最大限度地減少其使用的光波長,包括縮小芯片的特征尺寸并提升性能。ASML的工程師正在裝配系統(tǒng)組件(圖片來自ASML) 要知道,當(dāng)前的EUV機器已經(jīng)像一輛公共汽車那么大,包含10萬個零部件和兩公里長的電纜,運輸這些組件需要40個貨運集裝箱、三架貨機和20輛卡車,能夠買得起這種設(shè)備的公
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阿斯麥的新一代EUV光刻機:造價1.5億美元 公共汽車大小

- 9月2日消息,荷蘭阿斯麥的新一代極紫外(EUV)光刻機每臺有公共汽車大小,造價1.5億美元。其前所未有的精度可以讓芯片上的元件尺寸在未來幾年繼續(xù)縮小?! ≡谖挥诿绹的腋裰萁紖^(qū)的一間大型潔凈室里,工程師們已經(jīng)開始為一臺機器制造關(guān)鍵部件,這臺機器有望讓芯片制造行業(yè)沿著摩爾定律至少再走上10年時間?! ∵@臺極紫外光刻機是由荷蘭阿斯麥公司制造的。阿斯麥于2017年推出世界上第一臺量產(chǎn)的極紫外光刻機,在芯片制造領(lǐng)域發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,已經(jīng)被用于制造iPhone手機芯片以及人工智能處理器等最先進(jìn)的芯片。阿斯
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