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重回摩爾定律兩大武器... EUV+三五族 成大勢所趨

  •   英特爾在14奈米及10奈米制程推進出現(xiàn)延遲,已影響到處理器推出時程,也讓業(yè)界及市場質(zhì)疑:摩爾定律是否已達極限?不過,英特爾仍積極尋求在7奈米時代重回摩爾定律的方法,其中兩大武器,分別是被視為重大微影技術(shù)世代交替的極紫外光(EUV),以及開始采用包括砷化銦鎵(InGaAs)及磷化銦(InP)等三五族半導(dǎo)體材料。   摩爾定律能否持續(xù)走下去,主要關(guān)鍵在于微影技術(shù)難度愈來愈高。目前包括英特爾、臺積電、三星等大廠,主要采用多重曝光(multi-patterning)的浸潤式微影(immersionlitho
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EUV微影技術(shù)準(zhǔn)備好了嗎?

  •   又到了超紫外光(EUV)微影技術(shù)的關(guān)鍵時刻了??v觀整個半導(dǎo)體發(fā)展藍圖,研究人員在日前舉辦的IMEC技術(shù)論壇(ITF)上針對EUV微影提出了各種大大小小即將出現(xiàn)的挑戰(zhàn)。   到了下一代的10nm節(jié)點,降低每電晶體成本將會變得十分棘手。更具挑戰(zhàn)性的是在7nm節(jié)點時導(dǎo)入EUV微影。更進一步來看,當(dāng)擴展到超越5nm節(jié)點時可能就需要一種全新的晶片技術(shù)了。   目前最迫在眉睫的是中期挑戰(zhàn)。如果長久以來一直延遲的EUV微影系統(tǒng)未能在2017年早期就緒的話,7nm制程將會成為一個昂貴的半節(jié)點。   不過,研究人
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臺積電采購EUV 2018年或邁入7納米時代

  • 按照現(xiàn)在量產(chǎn)產(chǎn)品工藝進展的速度,幾乎可以預(yù)見的是,2018年上7納米的愿望很美好,但是實際情況卻困難重重,幾乎是不太可能的事,即便在技術(shù)上能實現(xiàn),在商業(yè)上來看也不能算是理性的選擇。
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2016年EUV降臨 半導(dǎo)體格局生變

  •  ASML公司第3代極紫外光(EUV)設(shè)備已出貨6臺。這預(yù)示著預(yù)示了全球兩家頂級大廠未來采用EUV光刻技術(shù),在10nm的量產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)選項中幾乎同步,或者說臺積電在10nm時順利趕上業(yè)界龍頭英特爾。
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EUV將在7納米節(jié)點發(fā)威?

  •   核心提示:荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備大廠 ASML 現(xiàn)在勉為其難地承認了其客戶私底下悄悄流傳了好一陣子的情況:大多數(shù)半導(dǎo)體廠商仍將采用傳統(tǒng)浸潤式微影技術(shù)來生產(chǎn)10奈米制程晶片,而非延遲許久的超紫外光微影(EUV)技術(shù);不過這恐怕將使得10奈米節(jié)點因為無法壓低每電晶體成本,而成為不受歡迎的制程。   荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備大廠 ASML 現(xiàn)在勉為其難地承認了其客戶私底下悄悄流傳了好一陣子的情況:大多數(shù)半導(dǎo)體廠商仍將采用傳統(tǒng)浸潤式微影技術(shù)來生產(chǎn)10奈米制程晶片,而非延遲許久的超紫外光微影(EUV)技術(shù);不過這恐怕將使得
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KLA-Tencor推出Teron? SL650 光罩檢測系統(tǒng)

  •   KLA-Tencor 公司(納斯達克股票代碼:KLAC)宣布推出 Teron? SL650,該產(chǎn)品是專為集成電路晶圓廠提供的一種新型光罩質(zhì)量控制解決方案,支持 20nm 及更小設(shè)計節(jié)點。Teron SL650 采用 193nm光源及多種 STARlight? 光學(xué)技術(shù),提供必要的靈敏度和靈活性,以評估新光罩的質(zhì)量,監(jiān)控光罩退化,并檢測影響成品率的光罩缺陷,例如在有圖案區(qū)和無圖案區(qū)的晶體增長或污染。此外,Teron SL650 擁有業(yè)界領(lǐng)先的產(chǎn)能,可支持更快的生產(chǎn)周期,以滿足檢驗
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EUV遭受新挫折 半導(dǎo)體10nm工藝步伐蹉跎

  • 當(dāng)半導(dǎo)體工藝發(fā)展到10nm水平時,傳統(tǒng)的光刻工藝將面臨前所未有的挑戰(zhàn),所有經(jīng)典物理的規(guī)律在量子水平下都有可能失效,必須在硅材料之外尋找一種新的、實用的思路來進一步延續(xù)集成電路的發(fā)展。
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EUV光刻技術(shù)或助力芯片突破摩爾定律

  •   據(jù)美國科技博客Business Insider報道,在近50年的科技發(fā)展中,技術(shù)變革的速度一直遵循著摩爾定律。一次又一次的質(zhì)疑聲中,英特爾堅定不移地延續(xù)著摩爾定律的魔力。   摩爾定律是由英特爾聯(lián)合創(chuàng)始人GordonMoore提出,內(nèi)容為:當(dāng)價格不變時,集成電路上可容納的晶體管數(shù)目,約每隔18個月便會增加一倍,性能也將提升一倍。換言之,每一美元所能買到的電腦性能,將每隔18個月翻兩倍以上。這一定律揭示了信息技術(shù)進步的速度。   在幾十年來,芯片技術(shù)得以快速變革和發(fā)展,變得更加強大,節(jié)省了更
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ASML提升新EUV機臺技術(shù)生產(chǎn)效率

  •   微影設(shè)備大廠ASML積極提升極紫外線(EUV)機臺技術(shù)的生產(chǎn)效率,在2012年購并光源供應(yīng)商Cymer后,大幅提升光源效率,從2009年至今光源效率分別為2009年2瓦、2010年5瓦、2011年10瓦,2012年提升至20瓦,目前已達55瓦,每小時晶圓產(chǎn)出片數(shù)為43片,預(yù)計2013年底前,可達到80瓦的目標(biāo),2015年達250瓦、每小時產(chǎn)出125片。   半導(dǎo)體生產(chǎn)進入10納米后,雖然可采用多重浸潤式曝光方式,但在一片晶圓上要進行多次的微影制程曝光,將導(dǎo)致生產(chǎn)流程拉長,成本會大幅墊高,半導(dǎo)體大廠為
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ASML:量產(chǎn)型EUV機臺2015年就位

  •   極紫外光(EUV)微影技術(shù)將于2015年突破量產(chǎn)瓶頸。傳統(tǒng)浸潤式微影技術(shù)在半導(dǎo)體制程邁入1x奈米節(jié)點后將面臨物理極限,遂使EUV成為產(chǎn)業(yè)明日之星。設(shè)備供應(yīng)商艾司摩爾(ASML)已協(xié)同比利時微電子研究中心(IMEC)和重量級晶圓廠,合力改良EUV光源功率與晶圓產(chǎn)出速度,預(yù)計2015年可發(fā)布首款量產(chǎn)型EUV機臺。   ASML亞太區(qū)技術(shù)行銷協(xié)理鄭國偉提到,ASML雖也同步投入E-Beam基礎(chǔ)研究,但目前對相關(guān)設(shè)備的開發(fā)計劃仍抱持觀望態(tài)度。   ASML亞太區(qū)技術(shù)行銷協(xié)理鄭國偉表示,ASML于2012年
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全球半導(dǎo)體代工業(yè)正孕育惡戰(zhàn)

  •   5月7日消息,全球代工市場規(guī)模繼2011年增長7%,達328億美元之后,2012年再度增長16%,達到393億美元,預(yù)計2013年還將有14%的增長。   臺積電與英特爾以前是“河水不犯井水”,但是隨著英特爾開始接受Altera的14nm FPGA訂單,明顯在與臺積電搶單,兩大半導(dǎo)體巨頭開始出現(xiàn)較為明顯的碰撞。目前,臺積電已誓言將加速發(fā)展先進制程技術(shù),希望在10nm附近全面趕上英特爾。   而另一家代工廠格羅方德近日也發(fā)出聲音,要在兩年內(nèi),在工藝制程方面趕上臺積電。   
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Intel:14nm進展順利 一兩年后量產(chǎn)

  •   Intel CTO Justin Rattner近日對外披露說,Intel 14nm工藝的研發(fā)正在按計劃順利進行,會在一到兩年內(nèi)投入量產(chǎn)。   2013年底,Intel將完成P1272 14nm CPU、P1273 14nm SoC兩項新工藝的開發(fā),并為其投產(chǎn)擴大對俄勒岡州Fab D1X、亞利桑那州Fab 42、愛爾蘭Fab 24等晶圓廠的投資,因此量產(chǎn)要等到2014年了。   而從2015年開始,Intel又會陸續(xù)進入10nm、7nm、5nm等更新工藝節(jié)點。   Rattner指出,Intel
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臺積電2016年10nm制程才將采用EUV技術(shù)

  • 而關(guān)于臺積電是否足夠支應(yīng)大舉投資ASML的支出?瑞信(Credit Suisse)則認為,臺積電截至今年第2季為止手頭有約50億美元的現(xiàn)金,估計今年全年,從盈余中可望取得93億美元左右的現(xiàn)金流,且臺積電今年預(yù)估會再募集10億美元左右的公司債,因此大體而言將足夠支付包括今年82.5億美元的資本支出,以及用于ASML的投資費用。
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IMEC用EUV曝光裝置成功曝光晶圓

  •   IMEC宣布,成功利用ASML的EUV(extreme ultraviolet)曝光裝置NXE:3100進行曝光。該EUV曝光裝置配備了日本牛尾電機的全資子公司德國XTREME technologies GmbH公司生產(chǎn)的LA-DPP(laser assisted discharge produced plasma)方式EUV光源。
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MIT研究顯示電子束光刻可達9納米精度

  •   美國麻省理工學(xué)院(MIT)的研究人員日前發(fā)表的一項研究成果顯示,電子束“光刻”精度可以小到9納米的范圍,刷新了以前一項精度為25納米的結(jié)果,這一進展有可能為電子束“光刻”和EUV(超紫外)光刻技術(shù)展開競爭提供了動力。盡管EUV光刻技術(shù)目前在商業(yè)化方面領(lǐng)先一步,有可能在22納米以下的工藝生產(chǎn)中取代目前使用的浸末式光刻技術(shù),但EUV光刻還面臨一些棘手的問題,如強光源和光掩膜保護膜等,而采用電子束“光刻”則不會存在這些問題。
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