國產(chǎn)化需求正在拉動國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)

盡管半導(dǎo)體景氣度從 2022 年下半年顯著回落，半導(dǎo)體設(shè)備是少數(shù)逆勢高速增長的細(xì)分行業(yè)。作為 A 股半導(dǎo)體設(shè)備龍頭，北方華創(chuàng)高管在 5 月 31 日舉辦的 2022 年度業(yè)績說明會上表示公司目前在手訂單充足，并預(yù)測受國產(chǎn)替代需求拉動，今年國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)仍有望持續(xù)增長。

2022 年，北方華創(chuàng)實現(xiàn)營業(yè)收入 147 億元，同比增長約五成，凈利潤約 24 億元，同比增長 1.18 倍；今年一季度公司實現(xiàn)凈利潤近 6 億元，同比增長 1.86 倍。

「目前公司在手訂單充足，2023 年 1-5 月新增訂單相較去年同期增長超過 30%，其中以集成電路設(shè)備訂單為主?！贡狈饺A創(chuàng)高管表示。

北方華創(chuàng)在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域業(yè)務(wù)覆蓋刻蝕裝備、薄膜裝備、立式爐裝備、外延裝備、清洗裝備、臥式爐管設(shè)備等，去年電子工藝裝備部分業(yè)務(wù)實現(xiàn)營業(yè)收入同比增長約五成。

在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域，北方華創(chuàng)高管介紹，面向 12 英寸邏輯、存儲、功率、先進(jìn)封裝等客戶，已完成數(shù)百道工藝的量產(chǎn)驗證，其中，ICP 刻蝕產(chǎn)品出貨累計超過 2000 腔，8 英寸 CCP 刻蝕設(shè)備已批量供應(yīng)市場，12 英寸 CCP 刻蝕設(shè)備已進(jìn)入客戶端驗證。另外，公司用于存儲器件的高深寬比刻蝕機(jī)已完成研發(fā)，進(jìn)入工藝測試階段，各項技術(shù)指標(biāo)已基本滿足客戶要求。

對于刻蝕設(shè)備優(yōu)勢，北方華創(chuàng)介紹，公司自 2001 年開始研發(fā) ICP 刻蝕設(shè)備，2005 年第一臺設(shè)備進(jìn)入大生產(chǎn)線量產(chǎn)，目前已有超過 2000 腔產(chǎn)品在數(shù)十家客戶端實現(xiàn)量產(chǎn)應(yīng)用，在數(shù)百道制程上成為客戶的基線設(shè)備。

北方華創(chuàng)不是唯一一家在一季度實現(xiàn)增長的半導(dǎo)體設(shè)備公司，受益于國內(nèi)半導(dǎo)體下游行業(yè)設(shè)備需求的不斷增加。

盛美上海 2023 年一季度營業(yè)收入 6.16 億元，同比增長 74.09％；歸屬于上市公司股東的凈利潤 1.31 億元，上年同期盈利 431.12 萬元，同比增長 2937.19％。

拓荊科技一季度實現(xiàn)營收 4.02 億元，同比增長 274.24％；歸屬于上市公司股東的凈利潤 5371.8 萬元，扭虧為盈。

華海清科今年一季度營業(yè)收入 6.16 億元，同比增長 76.87％，扣非歸母凈利潤 1.67 億元，同比增長 114.46％。

芯源微同樣披露了良好的一季報，期內(nèi)營收 2.88 億元，同比增長 56.89％，歸母凈利 6597.74 萬元，同比增長 103.55％。

5 月 23 日，日本宣布把尖端半導(dǎo)體制造設(shè)備等 23 個品類列入出口管理限制對象名單，本次措施主要是增加了 6 大類 23 種管制物項，對華出口需申請許可。

在清單內(nèi)的受管制物品在向中國大陸、俄羅斯等地區(qū)出口時，需要獲得日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省的許可證。清單主要針對高端半導(dǎo)體制造設(shè)備，尤其是特別聚焦了 ArF 浸沒式光刻、EUV 配套設(shè)備及部件、鈷/鎢等金屬沉積、高深寬比刻蝕和硅鍺刻蝕等技術(shù)指標(biāo)較高、材料特殊、在先進(jìn)制程有針對性應(yīng)用的半導(dǎo)體設(shè)備品種，而光刻膠等日本優(yōu)勢的半導(dǎo)體材料則未在限制行列之中。

中信證券研報認(rèn)為，中國大陸為日本主要半導(dǎo)體設(shè)備廠商的重要收入來源地區(qū)之一，出口限制主要針對先進(jìn)芯片制造，符合預(yù)期，否則若全面限制、日本半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)也會有較大沖擊。在這樣的背景下，半導(dǎo)體設(shè)備以及零部件領(lǐng)域國產(chǎn)化進(jìn)展備受關(guān)注。

廣發(fā)證券整理了 2022 年國內(nèi)晶圓廠的公開招標(biāo)項目，以及相關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的中標(biāo)情況。2022 年，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商合計中標(biāo)量在對應(yīng)工藝環(huán)節(jié)的中標(biāo)比例為 26%。中標(biāo)方面，2022 年，統(tǒng)計樣本中的晶圓產(chǎn)線合計中標(biāo) 1040 臺設(shè)備，以量測、沉積類、熱處理設(shè)備居多；國產(chǎn)設(shè)備整體中標(biāo)比例約 30%，其中，硅片再生、氣液系統(tǒng)、去膠、濕法腐蝕、PVD 設(shè)備的國產(chǎn)中標(biāo)比例較高。

2022 年，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商合計中標(biāo) 231 臺設(shè)備，北方華創(chuàng)、創(chuàng)微微電子、中微公司、萬業(yè)企業(yè)中標(biāo)量領(lǐng)先，分別中標(biāo) 64 臺、28 臺、22 臺、21 臺設(shè)備。

從這樣的數(shù)據(jù)來看，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商已經(jīng)有所成果，但仍有增長空間。根據(jù) SEMI（國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會）數(shù)據(jù)，2022 年中國晶圓廠商半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率較 2021 年明顯提升，從 21% 提升至 35%；國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公在去膠、清洗、熱處理、刻蝕及 CMP 領(lǐng)域內(nèi)國產(chǎn)替代率較高，均高于 30%，但在光刻機(jī)、離子注入機(jī)等領(lǐng)域國產(chǎn)化率合計不足 5%。

半導(dǎo)體行業(yè)自 2022 年下半年進(jìn)入下行周期，半導(dǎo)體制造商紛紛宣布削減 2023 年資本開支；對于國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備增長趨勢，北方華創(chuàng)高管表示看好，預(yù)計受國產(chǎn)替代需求拉動，今年國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)仍有望持續(xù)增長。