晶圓代工廠發(fā)展MEMS的唯一要訣：找到強(qiáng)大的設(shè)計(jì)伙伴

        1位伊朗人30多年前獨(dú)自來到美國(guó)柏克萊大學(xué)念書，自畢業(yè)后為了一圓其大學(xué)時(shí)期對(duì)于MEMS的夢(mèng)想，前前后后共創(chuàng)立了多達(dá)6家的MEMS設(shè)計(jì)公司，而第6家公司InvenSense在其正式開張前，就已花了1年多時(shí)間在家埋頭苦干，開創(chuàng)出1套前無古人的MEMS設(shè)計(jì)公司營(yíng)運(yùn)模式，如今看來他對(duì)了，至今InvenSense成為任天堂Wii下世代Wii Motion Plus游戲搖桿的唯一陀螺儀供應(yīng)商，而讓所有MEMS業(yè)界為之瞠目結(jié)舌的是， InvenSense 擁有其 Nasiri-Fabrication 制造平臺(tái)的一切智能財(cái)產(chǎn)權(quán)及專利，再者因?yàn)檫\(yùn)動(dòng)感測(cè)的龐大商機(jī)， 所有 MEMS代工廠皆極有意愿配合此平臺(tái)為其獨(dú)家生產(chǎn)。

        而帶領(lǐng)InvenSense有今日的一番做為的便是其創(chuàng)始CEO Steven Nasiri，以下為此次的專訪記要：

        問：InvenSense為1家IC設(shè)計(jì)公司，臺(tái)積電當(dāng)前雖已引進(jìn)制造MEMS產(chǎn)品所需要相關(guān)設(shè)備，但先前ADI正因?yàn)榕_(tái)積電整體良率還是一直沒辦法滿足他們需求，到2008年下半，臺(tái)積電采用整廠輸入方式生產(chǎn)，才滿足ADI的需求，請(qǐng)問你們是否選擇臺(tái)積電做為代工伙伴？而除了臺(tái)積電以外，目前是否還有考量其余代工伙伴？

        答：我要說的是到目前為止InvenSense還沒有選擇臺(tái)灣任何1家晶圓代工廠做為晶圓代工的伙伴，不過未來InvenSense會(huì)有很多的生意出現(xiàn)在亞太地區(qū)，因此為了配合InvenSense未來幾年全球性與高幅度的成長(zhǎng)，因此InvenSense絕對(duì)會(huì)選擇臺(tái)灣做為未來InvenSense全球晶圓代工產(chǎn)能來源。

        事實(shí)上我認(rèn)為臺(tái)積電在晶圓代工上做的相當(dāng)成功，不過到現(xiàn)階段為止InvenSense還是持續(xù)針對(duì)臺(tái)灣幾家晶圓代工廠做最后的確認(rèn)，且由于與各家晶圓代工廠簽訂保密條約(NDA)，因此現(xiàn)在還暫時(shí)無法對(duì)外公布晶圓代工伙伴，但可確定是目前看來，最快要等到2009年初才會(huì)開始在臺(tái)灣晶圓代工廠中大量投片。

        我們并不清楚臺(tái)積電內(nèi)部在這方面面臨的挑戰(zhàn)，所以我無法做任何評(píng)論。但臺(tái)灣CMOS制造能力非常先進(jìn)，并擁有相關(guān)領(lǐng)域中相當(dāng)有能力的專業(yè)人才，我相信在MEMS制造上，臺(tái)灣會(huì)同樣成功。

        問：臺(tái)灣在標(biāo)準(zhǔn)CMOS制程上一直處于領(lǐng)先地位，也因此造就了臺(tái)灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)上中下游相關(guān)完整供應(yīng)鏈，不過對(duì)于制造及設(shè)計(jì)MEMS產(chǎn)品似乎還是有瓶頸，就您過去將近30年MEMS產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn)，您認(rèn)為臺(tái)灣半導(dǎo)體廠商要如何突破此一瓶頸？

        答：根據(jù)我近幾年從事MEMS產(chǎn)業(yè)的經(jīng)驗(yàn)，結(jié)論其實(shí)相當(dāng)簡(jiǎn)單，那就是要與強(qiáng)者結(jié)合。事實(shí)上由于MEMS的晶圓代工并不像標(biāo)準(zhǔn)CMOS制程，用1個(gè)制程就可替不同客戶代工，且就CMOS制程的晶圓代工廠來說，因?qū)儆跇?biāo)準(zhǔn)化的制程，所以可以向很多IDM大廠技術(shù)授權(quán)，如可由IBM、英特爾(Intel)以及日本、歐洲的IDM大廠取得技術(shù)授權(quán)，但是談到MEMS晶圓代工，則必須仰賴單一且背景相當(dāng)扎實(shí)的技術(shù)授權(quán)對(duì)象。

        就好比當(dāng)前MEMS麥克風(fēng)大廠樓氏電子，他的晶圓代工廠伙伴便是Sony半導(dǎo)體，這樣結(jié)合便是創(chuàng)造樓氏電子輝煌成績(jī)主要原因，換言之要做MEMS晶圓代工就絕對(duì)不能選錯(cuò)「合作伙伴」，一旦選錯(cuò)的話就鐵定完蛋。

        舉例來說，當(dāng)前所謂的CMOS like晶圓代工廠與客戶關(guān)系，就好比1家餐廳與到餐廳吃飯的客戶間關(guān)系，這家餐廳的所提供菜色誰(shuí)來吃都可以，但最重要的便是餐廳的服務(wù)，如果有好的服務(wù)，勢(shì)必會(huì)帶來更多的客戶。

        不過就MEMS晶圓代工產(chǎn)業(yè)模式來說，MEMS晶圓代工的廠商與MEMS設(shè)計(jì)業(yè)者雙方間的關(guān)系就好比是老公與老婆間的關(guān)系，雙方的關(guān)系絕對(duì)是1對(duì)1的關(guān)系，不容許有其它人來介入，老婆煮飯絕對(duì)是只為老公。

        因此我要說的是臺(tái)灣的半導(dǎo)體廠商無論是晶圓代工廠或是設(shè)計(jì)公司，想要能夠進(jìn)入MEMS市場(chǎng)，最重要的工作便是要找到好且有力的伙伴，彼此間才能夠攜手走更長(zhǎng)久的路。

        我同意臺(tái)灣公司在MEMS領(lǐng)域發(fā)展并不成熟，但臺(tái)灣卻參與制造出世界一流的產(chǎn)品，在這領(lǐng)域中，并沒看到瓶頸。而要保持領(lǐng)導(dǎo)的地位，一般而言，不外乎與市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)廠商結(jié)盟并投資先進(jìn)生產(chǎn)制程科技。最近一些晶圓廠的新聞已證實(shí)了臺(tái)灣晶圓代工廠在這方面的決心。

        問：除了要選擇正確伙伴外，想要進(jìn)入MEMS市場(chǎng)還需要注意那些事項(xiàng)？新進(jìn)廠商有無機(jī)會(huì)呢？

        答：我想要補(bǔ)充一點(diǎn)是之所以要找對(duì)的正確且值得托付終身合作伙伴，最主要原因在于無論是晶圓代工廠或是MEMS設(shè)計(jì)業(yè)者，想要進(jìn)入MEMS產(chǎn)業(yè)且長(zhǎng)久立足，則勢(shì)必要投入相當(dāng)大的人力與資金，晶圓代工廠也需要為了進(jìn)入MEMS晶圓代工而另外購(gòu)買相關(guān)MEMS設(shè)備，但買入的設(shè)備又不見得可以滿足所有的客戶需求，因此必須要相當(dāng)謹(jǐn)慎小心，一旦選錯(cuò)伙伴，則所有的投資恐將付之一炬。

        如你所知，MEMS的字面意義是在微小的單位里的微機(jī)械結(jié)構(gòu)。今天，各個(gè)MEMS技術(shù)的生產(chǎn)、設(shè)計(jì)、產(chǎn)品與應(yīng)用各有不同。所以對(duì)你的問題我并沒有單一的答案。但我可以針對(duì)InvenSense及我以前的公司所面臨的問題來回答你。

        沒有晶圓廠的MEMS設(shè)計(jì)公司存在著許多重大的挑戰(zhàn)。首先遇到的便是在許多不同制程中選擇最適合你的產(chǎn)品制程。再來是選擇配合晶圓代工廠并利用代工廠的制程及容忍的誤差值來進(jìn)行設(shè)計(jì)。

        由于不像CMOS晶圓代工廠，MEMS晶圓代工廠提供的制程并沒有完整的量測(cè)數(shù)值，對(duì)于許多新進(jìn)廠商這會(huì)是相當(dāng)致命的。任何的MEMS產(chǎn)品都需經(jīng)過完整的制程發(fā)展循環(huán)，這需花費(fèi)相當(dāng)時(shí)間與資本。這同時(shí)也意味著需要培養(yǎng)自己的MEMS制程專家來參與制程發(fā)展。在這考量下，MEMS晶圓代工廠并不是1個(gè)適當(dāng)?shù)拿Q，較合適的名稱可能是「具M(jìn)EMS能力的晶圓廠」，因?yàn)樽詈缶A廠提供的制程是由設(shè)計(jì)公司決定的。

        所以你可以想象完成并確認(rèn)1個(gè)新的晶圓制程是多大的挑戰(zhàn)。然后，由于開始時(shí)缺乏足夠的生產(chǎn)量，且多半而言也缺乏足夠資金，這些新制程無法得到完整的測(cè)試取得量測(cè)數(shù)值，所以無法避免的晶圓廠及設(shè)計(jì)公司都將承受低良率、不良產(chǎn)品及無法量產(chǎn)的挑戰(zhàn)。對(duì)于InvenSense而言，我們其中1個(gè)優(yōu)勢(shì)就是擁有名為Nasiri Fabrication的制程平臺(tái)，這是1個(gè)相當(dāng)簡(jiǎn)單并對(duì)我們所有產(chǎn)品都能適用的平臺(tái)。在專利保護(hù)下，我們對(duì)這個(gè)平臺(tái)擁有所有的權(quán)利，并有技術(shù)能力來提供技術(shù)轉(zhuǎn)移給我們需要的晶圓廠。

        問：臺(tái)灣目前已有幾家專門替國(guó)外代工MEMS產(chǎn)品的晶圓代工廠，不過到現(xiàn)在看來似乎還沒有做到完全成功，最主要原因?yàn)楹危?/p>

        答：如前所言，我并沒有資格評(píng)論1個(gè)晶圓代工廠是否成功，我們談過的對(duì)象都是相當(dāng)有能力并致力于MEMS產(chǎn)業(yè)的晶圓代工廠，我們相信他們以后都會(huì)成功的。

        如前所說，設(shè)計(jì)公司選擇晶圓代工廠時(shí)會(huì)面臨十分大的挑戰(zhàn)，相同的(或是更大)的挑戰(zhàn)在于晶圓代工廠對(duì)設(shè)計(jì)公司的選擇。

        基本而言在工程研發(fā)階段晶圓代工廠并無法有太多獲利，而這階段可能持續(xù)2~3年，在這期間晶圓代工廠將投下相當(dāng)資金，如果產(chǎn)品無法順利進(jìn)入量產(chǎn)，晶圓代工廠很可能血本無歸。

        對(duì)于新進(jìn)公司，尤其是MEMS新進(jìn)公司，順利進(jìn)入量產(chǎn)的紀(jì)錄并不是很高，選擇新進(jìn)設(shè)計(jì)公司成為伙伴其實(shí)是1個(gè)賭博。話說回來，由于新進(jìn)入MEMS領(lǐng)域，又與MEMS的中心(主要是美國(guó)硅谷)有相當(dāng)距離，臺(tái)灣MEMS晶圓代工廠至今并沒有足夠的客戶群，這可能是臺(tái)灣MEMS晶圓代工廠唯一的弱點(diǎn)。今天臺(tái)灣替國(guó)外代工MEMS產(chǎn)品的晶圓代工廠，并沒有取得很大的成功原因主要在市場(chǎng)或產(chǎn)品的設(shè)計(jì)上。當(dāng)然，配合今天市場(chǎng)的趨勢(shì)，如能直接代工成熟并已具市場(chǎng)的MEMS產(chǎn)品，這可能是最好的方式。

        不過反觀國(guó)際IDM大廠如STM、ADI或是FreeScale等由于這些大廠擁有自己的產(chǎn)品，知道自己要如何去分配晶圓廠產(chǎn)能，且因?yàn)樽约河邢嚓P(guān)的設(shè)計(jì)與銷售能力，如此一來在做MEMS市場(chǎng)上便顯得相對(duì)得心應(yīng)手。

        問：您擔(dān)任InvenSense的CEO 2009年起正式進(jìn)入第6年，您個(gè)人將準(zhǔn)備帶領(lǐng)InvenSense成為1家怎樣的Leading Company？

        答：我們非常滿意過去5年的成績(jī)，我們已大量的交貨給全世界的主要客戶，同時(shí)非常幸運(yùn)的，在動(dòng)作感測(cè)市場(chǎng)快速成長(zhǎng)的同時(shí)，我們有能力針對(duì)核心市場(chǎng)需求提供領(lǐng)先的技術(shù)與產(chǎn)品。我可說在過去5年InvenSense已奠定MEMS陀螺儀的市場(chǎng)領(lǐng)導(dǎo)地位。

        在未來的5年，我們將對(duì)動(dòng)作感測(cè)游戲機(jī)、空中鼠標(biāo)、智能型手機(jī)、功能手機(jī)及其它所有的消費(fèi)性電子產(chǎn)品以新一代整合型的產(chǎn)品提供完全動(dòng)作感測(cè)方案。在如同任天堂Wii，iPhone及其它新世代的產(chǎn)品中，我們已經(jīng)看到市場(chǎng)對(duì)動(dòng)作控制人機(jī)界面的真實(shí)需求，而我們也相信很快的這個(gè)需求將繼續(xù)成長(zhǎng)到各式各樣的人機(jī)界面

        事實(shí)上InvenSense已是我第6家創(chuàng)辦的MEMS公司，我在2003年便開始投入籌備InvenSense公司工作，前前后后約1年左右時(shí)間，我都在家中寫有關(guān)成立InvenSense所需要各種方案與專利，寫專利最大用意在于要先「卡死」大廠，讓他們不敢跨入此領(lǐng)域，對(duì)于小設(shè)計(jì)公司來說他們也不敢去找晶圓代工廠合作，相反的，晶圓代工廠看到我們擁有專利，也不敢貿(mào)然去承接小公司訂單。

        在此期間我總共請(qǐng)了4位各種不同領(lǐng)域的專家學(xué)者當(dāng)做我的顧問，而在此期間為了要與其余競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手有所區(qū)隔，我想了1套完整的Business Model才正式成立InvenSense，當(dāng)初想法就是創(chuàng)造「與眾不同」，挑戰(zhàn)ADI或是STM一開始不敢嘗試的CMOS制程。

        當(dāng)初的想法是希望能夠讓InvenSense的產(chǎn)品盡量在標(biāo)準(zhǔn)CMOS制程上完成，不要讓晶圓代工廠為了要承接InvenSense訂單而花費(fèi)太多額外資金，這樣的做法才能真正做到「普及化」。而也為了達(dá)到這個(gè)目的，在2004年成立InvenSense時(shí)便已發(fā)表了4個(gè)相關(guān)專利。

        未來我希望InvenSense所生產(chǎn)出的商品都能夠達(dá)到Easy To Use，原因在于這樣才能真正能夠做到大眾化。事實(shí)上我必須說即便到現(xiàn)在為止，一些MEMS商品只有「專家」才知道要如何使用，但我要做的就是即便不是專家，也是同樣可輕松上手。

        因此，除了要給予客戶端相當(dāng)精確且質(zhì)量好的陀螺儀產(chǎn)品，當(dāng)然在軟件部分是不能欠缺，但為能讓更多消費(fèi)者易于使用，我們就要提供下游客戶端更多算法，客戶不需要花費(fèi)腦筋在算法上，只需專注在應(yīng)用端的設(shè)計(jì)與創(chuàng)新，如此一來客戶可設(shè)計(jì)出消費(fèi)者需要的商品，消費(fèi)者也將更方便采用，這才是InvenSense所想達(dá)到的終極目標(biāo)。

        問：當(dāng)前InvenSense的客戶端大多屬于消費(fèi)性電子產(chǎn)品，如數(shù)碼相機(jī)、手機(jī)、與游戲機(jī)，請(qǐng)問InvenSense是否未來有在其它市場(chǎng)布局的計(jì)畫？再者由于全球金融風(fēng)暴仍舊持續(xù)，專注在消費(fèi)性電子產(chǎn)品的InvenSense要如何因應(yīng)此次風(fēng)暴？

        答：由于消費(fèi)性電子市場(chǎng)非常大龐，每年有數(shù)10億臺(tái)的規(guī)模。我們也注意到車用市場(chǎng)的潛力，但我們今天并未研究我們?nèi)绾芜M(jìn)入車用市場(chǎng)。至于這次的全球性金融風(fēng)暴，由于我們是幾個(gè)不同市場(chǎng)的主要技術(shù)提供者，不同市場(chǎng)意味著分散的風(fēng)險(xiǎn)。而游戲機(jī)市場(chǎng)中有更大的機(jī)會(huì)，預(yù)計(jì)2009年將有大幅的成長(zhǎng)。

        沒錯(cuò)當(dāng)前全球的金融風(fēng)暴確實(shí)有一定程度影響，不過我認(rèn)為相較于大型的公司，一些規(guī)模較小的公司所受到的沖擊會(huì)相對(duì)較小，但我要強(qiáng)調(diào)的是體質(zhì)健全的小規(guī)模公司。再者由于InvenSense本身屬于IC設(shè)計(jì)公司，且就如我所說InvenSense規(guī)模不大，如果在景氣佳時(shí)，要與一些大象級(jí)的IC設(shè)計(jì)公司或是IDM大廠競(jìng)爭(zhēng)，去搶食晶圓代工產(chǎn)能，可能要付出較高的價(jià)格或是根本僅能分配較少產(chǎn)能。

        但如今產(chǎn)業(yè)環(huán)境較差，大型晶圓代工廠有更多時(shí)間將關(guān)愛眼神放到InvenSense身上，除此之外，過去由于InvenSense的公司知名度還不是太高，因此較難吸引更好的人才，而如今InvenSense可以吸收一些被大公司裁員但是相當(dāng)優(yōu)秀的人才，對(duì)外界的人才而言，InvenSense是1家具有高度成長(zhǎng)潛力公司，在這時(shí)候進(jìn)入可以有更多發(fā)展。

        問：就我對(duì)于InvenSense的初步了解，貴公司的陀螺儀采用的是1顆ASIC再加上1顆MEMS芯片，再采用晶圓級(jí)封裝技術(shù)使其成為1顆陀螺儀，不過這樣一來對(duì)于ASIC及MEMS芯片均采用CMOS制程的設(shè)計(jì)公司來說，他們的制造成本可能還較你們便宜，對(duì)此您有何看法？且如果有問題的話需要如何解決？

        答：我前面提到，MEMS技術(shù)是非常多種的，所以沒人能做所有的不同產(chǎn)品，我們相信我們的生產(chǎn)平臺(tái)是最符經(jīng)濟(jì)效益的也最符合慣性MEMS產(chǎn)品。據(jù)我所知，并沒有單一「CMOS　MEMS」這種制程，表面微機(jī)結(jié)構(gòu)由于使用許多CMOS制程的相同設(shè)備，故常被吹噓為最接近CMOS制程的結(jié)構(gòu)。

        但是只要是關(guān)系到MEMS的部分，由于配方(Recipe)完全不同于CMOS，并無法與CMOS結(jié)構(gòu)同時(shí)進(jìn)行，通常作法是在CMOS完成后才開始以7~8層昂貴的光罩來完成MEMS結(jié)構(gòu)。于80年代初期單一表面微機(jī)結(jié)構(gòu)與CMOS整合在同一矽晶的技術(shù)就開始發(fā)展。據(jù)我所知只有1家公司能商品化，但最終仍無法電路使用或展示比其它技術(shù)的成本優(yōu)勢(shì)?；旧?，其它型態(tài)的表面微機(jī)結(jié)構(gòu)通常有黏性(Sticking)困擾或會(huì)造成嚴(yán)重環(huán)境處理與控制問題。

        除此之外，就我所知當(dāng)前全球半導(dǎo)體大廠中大約有高達(dá)10家左右有在制造陀螺儀產(chǎn)品，不過即便到現(xiàn)在為止，他們所能做的大多還是局限在單軸的陀螺儀，且采用的方式是使用2顆芯片，1顆屬于ASIC，1顆屬于MEMS產(chǎn)品，因此在制造上的成本較高，且體積上也較大，這對(duì)于想要進(jìn)入消費(fèi)性電子產(chǎn)品而言，根本是不太可能。

        由于InvenSense在公司成立時(shí)，便是希望做與其它人不一樣產(chǎn)品，因此才選定采用CMOS制程來制造單顆的陀螺儀，這樣的做法不僅能夠大量化且最重要是成本得以大幅降低。

        想要真正進(jìn)入到消費(fèi)性電子產(chǎn)品市場(chǎng)，關(guān)鍵點(diǎn)便在于能不能將每個(gè)單軸的陀螺儀商品成本，壓低到1美元以上，這樣才有機(jī)會(huì)讓消費(fèi)性電子產(chǎn)品制造商心動(dòng)。

        不過壓低成本并不意謂InvenSense產(chǎn)出的是「Cheap」芯片，InvenSense強(qiáng)調(diào)的是「Enable」芯片，這觀念很重要。

        問：您個(gè)人為何對(duì)于MEMS市場(chǎng)如此有興趣？當(dāng)前全球各大半導(dǎo)體廠無論是歐洲、美洲或是日本，對(duì)于MEMS市場(chǎng)均抱持相當(dāng)大的興趣，你怎么看待全球各區(qū)域發(fā)展MEMS市場(chǎng)？

        答：世界的趨勢(shì)在走向數(shù)碼化，而挑戰(zhàn)于如何將產(chǎn)品做到愈來愈小化。惟有將極大的資本投入在這個(gè)趨勢(shì)才有生存的可能。在消費(fèi)性市場(chǎng)而言，更多整合、更多功能、，更小，代表的是遲早所有功能都將整合進(jìn)應(yīng)用處理器(Application Processor) ，這個(gè)趨勢(shì)已在手機(jī)，數(shù)碼攝影機(jī)，及其它消費(fèi)性產(chǎn)品中發(fā)生。

        傳感器則是在短期間不會(huì)被整合的產(chǎn)品。MEMS傳感器給晶圓代工廠提供另一個(gè)做 Mixed Signal 轉(zhuǎn)換電路服務(wù)的機(jī)會(huì)

        我個(gè)人在大學(xué)時(shí)代便來到美國(guó)柏克萊大學(xué)念書，而當(dāng)初我所念的科系與機(jī)械相關(guān)，當(dāng)時(shí)學(xué)機(jī)械的學(xué)生出路不是太好，也不太合適在硅谷工作，因此就先選擇1家封裝測(cè)試公司上班，而當(dāng)時(shí)那家封裝測(cè)試公司已開始承接一些MEMS公司的商品。

        但由于當(dāng)時(shí)的MEMS商品屬于特殊的制程技術(shù)，且在封裝測(cè)試時(shí)需要特別的封裝測(cè)試方法，且更重要的是每家的封測(cè)標(biāo)準(zhǔn)均不一樣，因此公司可以收取較好價(jià)位與獲利，這令我眼睛為之一亮，就毅然決然的跳進(jìn)MEMS市場(chǎng)，且一做就是30多年。

        至于談到歐美日各國(guó)發(fā)展MEMS的過去與未來，我認(rèn)為美國(guó)在MEMS發(fā)展歷史上可說是最為悠久，原因在于美國(guó)一開始便有相當(dāng)多好的大學(xué)投入MEMS的人才培訓(xùn)。

        當(dāng)時(shí)美國(guó)的柏克萊、格魯吉亞、UCLA等知名大學(xué)均已投入不少的資源用在MEMS領(lǐng)域，也正因?yàn)槿绱俗屆绹?guó)近數(shù)10年來成立了不少的MEMS新興公司，而近幾年以來美國(guó)也有幾家規(guī)模較小的晶圓代工廠，持續(xù)投入資源用于MEMS晶圓代工，這也是支撐美國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)歷久不衰的主要原因之一。

        除此之外，歐洲的公司鎖定的目標(biāo)市場(chǎng)還是在汽車電子領(lǐng)域，最主要因素在于他們生產(chǎn)的MEMS產(chǎn)品成本較高，較沒有機(jī)會(huì)打入消費(fèi)性電子領(lǐng)域。不過值得注意的是歐洲發(fā)展MEMS產(chǎn)業(yè)也已有相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間，因此已發(fā)表相當(dāng)多學(xué)術(shù)論文，也就是說他們已累積相當(dāng)?shù)膶＠夹g(shù)，只要好好運(yùn)用還是可以有驚人作為，不過目前還沒有像美國(guó)產(chǎn)出那樣多的MEMS新興公司。

        最后談到日本，我個(gè)人認(rèn)為日本的公司有相當(dāng)好的科技與技術(shù)，且在MEMS的基礎(chǔ)研發(fā)上投入相當(dāng)多的資源，這部分是日本公司的強(qiáng)項(xiàng)。