FEOL
FEOL就是制程的前道，形成Device feol特指那些形成活性電性部件之前的生產(chǎn)步驟。在這些步驟中，晶片表面尤其是mos器件的柵區(qū)域，是暴露的、極易受損的。在這些清洗步驟中，一個極其關(guān)鍵的參數(shù)是表面粗糙度。過...... [查看詳細]
