三星首次采用韓國本土EUV光刻膠 打破日企壟斷
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據(jù)報(bào)道，三星首次引入韓國本土公司東進(jìn)世美肯（Dongjin Semichem）研發(fā)的EUV光刻膠（EUV PR）進(jìn)入其量產(chǎn)線，這也是三星進(jìn)行光刻膠本土量產(chǎn)的首次嘗試。在2019年經(jīng)歷與日本的光刻膠等關(guān)鍵原料的供應(yīng)風(fēng)波之后，三星就在嘗試將關(guān)鍵原料的供應(yīng)本土化，經(jīng)過三年的努力，韓國實(shí)現(xiàn)了光刻膠本地化生產(chǎn)。
本文引用地址：http://butianyuan.cn/article/202212/441295.htm
在日本限制出口、三星嘗試重構(gòu)EUV光刻膠的供應(yīng)鏈之后，東進(jìn)世美肯就已開始研發(fā)EUV光刻膠，并在去年通過了三星的可靠性測(cè)試，隨后不到一年就被應(yīng)用于三星的大規(guī)模生產(chǎn)線。不過，EUV光刻膠可用于3-50道程序，目前也還不確定是用于哪一工藝程序。
同三星電子整體的生產(chǎn)線相比，東進(jìn)世美肯的EUV光刻膠用于一條工藝線還只是很小的一部分，但對(duì)于一種此前100%全部依賴進(jìn)口的原材料，能用于一條工藝線也有特殊的意義。
由于需要考慮與海外供應(yīng)商之間的關(guān)系等多重因素，目前還不清楚三星是否會(huì)將本土EUV光刻膠用于更多的工藝線，預(yù)計(jì)根據(jù)其表現(xiàn)將決定未來的供應(yīng)是否增加。
光刻膠是指經(jīng)過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X射線等光照或輻射后，溶解度發(fā)生變化的耐蝕刻薄膜材料，是光刻工藝中的關(guān)鍵材料，主要應(yīng)用于積體電路和分立器件的細(xì)微圖形加工：當(dāng)用半導(dǎo)體曝光設(shè)備照射光時(shí)，會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并改變物理性質(zhì)，通過用顯影劑沖洗掉PR來繪制微電路，只留下必要的部分。
由于東進(jìn)世美肯成為韓國第一家將光刻膠本地化并達(dá)到大規(guī)模生產(chǎn)水平的公司，永昌化學(xué)和SK材料性能也在開發(fā)光刻膠，但它們還沒有達(dá)到可靠性驗(yàn)證的水平。
從整體業(yè)態(tài)來看，全球光刻膠市場(chǎng)高度集中，日美把控著絕大部分市場(chǎng)份額。日本的JSR、東京應(yīng)化、信越化學(xué)及富士膠片四家企業(yè)占據(jù)了全球 70％以上的市場(chǎng)份額，壟斷地位穩(wěn)固。
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