臺(tái)積電:ASML新型光刻機(jī)太貴,A16技術(shù)計(jì)劃2026年推出
據(jù)媒體報(bào)道,當(dāng)?shù)貢r(shí)間周二,臺(tái)積電高級(jí)副總裁張曉強(qiáng)(Kevin Zhang)在阿姆斯特丹舉行的一個(gè)技術(shù)研討會(huì)表示,ASML的最新高數(shù)值孔徑極紫外光刻機(jī)(High-NA EUV)價(jià)格過(guò)高,并直言:“我喜歡這項(xiàng)技術(shù),但我不喜歡它的標(biāo)價(jià)。”
本文引用地址:http://butianyuan.cn/article/202405/458791.htm據(jù)了解,這款新光刻機(jī)的線寬僅為8nm,精細(xì)度是前一代的1.7倍。但每臺(tái)機(jī)器的成本高達(dá)3.5億歐元(約合3.78億美元),重量相當(dāng)于兩架空客A320,而ASML的常規(guī)EUV設(shè)備的成本為2億歐元。
報(bào)道稱,新款光刻機(jī)預(yù)計(jì)將幫助芯片設(shè)計(jì)縮小三分之二,但芯片制造商必須權(quán)衡技術(shù)優(yōu)勢(shì)與更高的成本,以及ASML過(guò)去的技術(shù)是否更可靠或足夠好。
臺(tái)積電的下一代芯片制造技術(shù)A16計(jì)劃于2026年下半年推出。張曉強(qiáng)透露,A16并不一定需要使用ASML的高數(shù)值孔徑 EUV,可以繼續(xù)依賴臺(tái)積電現(xiàn)有的極紫外設(shè)備,因?yàn)楝F(xiàn)有的EUV技術(shù)已經(jīng)足夠應(yīng)對(duì)這一需求。
目前,臺(tái)積電是ASML常規(guī)EUV光刻機(jī)的最大客戶。張曉強(qiáng)表示,臺(tái)積電的A16工廠可能會(huì)設(shè)計(jì)成適應(yīng)這項(xiàng)新技術(shù)。未來(lái)是否使用ASML的新技術(shù),將取決于其經(jīng)濟(jì)效益以及能否實(shí)現(xiàn)技術(shù)平衡。
而據(jù)韓媒日前報(bào)道,英特爾公司已經(jīng)訂購(gòu)了最新的高數(shù)值孔徑EUV機(jī)器,并于12月底將第一臺(tái)機(jī)器運(yùn)送到俄勒岡州的一家工廠。截至明年上半年,英特爾已獲得ASML生產(chǎn)的大部分高數(shù)值孔徑EUV)設(shè)備。
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